一种炉管清洗方法技术

本发明专利技术公开了一种炉管清洗方法，涉及微电子领域。该方法为：向炉管通入氧气；向所述炉管注入55～65分钟的携带有二氯乙烯的氮气；停止注入所述氮气；向所述炉管通入水气；停止通入所述水气。本方法通过二氯乙烯和氧气在高温下可以去除炉管中碱金属离子和有机物残余；通过长时间的通入氧气去除了炉管中二氯乙烯的残余；通过水气去除了炉管中的重金属离子。本发明专利技术消除了炉管中累积的重金属，并去除了炉管中二氯乙烯的残余，达到了提高了后续工艺的稳定性的目的。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种炉管清洗方法，其特征在于，包括下述步骤：步骤1.向炉管通入氧气；步骤2.向所述炉管注入55～65分钟的携带有二氯乙烯的氮气；步骤3.停止注入所述氮气；步骤4.向所述炉管通入水气；步骤5.停止通入所述水气。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：江润峰，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31