边缘可拼接的光罩制造技术

本实用新型专利技术是一种边缘可拼接的光罩，包括上边（1）、下边（2）、短边Ⅰ（3）、短边Ⅱ（4）、短边Ⅲ（5）和模壳（6），光罩为一体成型，上边至短边Ⅰ距离为12μm至16μm，短边Ⅰ至短边Ⅱ距离为10μm至14μm，短边Ⅱ至短边Ⅲ距离为12μm至16μm，短边Ⅲ至下边的距离为11μm至15μm，模壳的直径为11.5μm，模壳之间的间距为3.5μm；保证图形和图形的边缘的重叠结合部位形成的图形不容易发成偏移，实现单位面积上的图形完整性。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术是一种边缘可拼接的光罩，包括上边（1）、下边（2）、短边Ⅰ（3）、短边Ⅱ（4）、短边Ⅲ（5）和模壳（6），光罩为一体成型，上边至短边Ⅰ距离为12μm至16μm，短边Ⅰ至短边Ⅱ距离为10μm至14μm，短边Ⅱ至短边Ⅲ距离为12μm至16μm，短边Ⅲ至下边的距离为11μm至15μm，模壳的直径为11.5μm，模壳之间的间距为3.5μm；保证图形和图形的边缘的重叠结合部位形成的图形不容易发成偏移，实现单位面积上的图形完整性。【专利说明】边缘可拼接的光罩
本技术涉及一种光罩，具体是一种边缘可拼接的光罩。
技术介绍
随着化石燃料枯竭，环境污染加剧，环保节能的LED广受关注和好评。LED的结构是PN结二极管状态下，在氮化镓中加入镁和硫，形成P层和N层，进而在P层和N层之中形成多量子阱层，连接电源使其发光，LED发光的方向不是单一的，而是所有方向都能发光，并通过LED制造工艺中的封装技术进行强化，在蓝宝石衬底表面制作图形模式下实现放射光源的反射。因此，蓝宝石衬底的质量会影响到LED发光的效率，特别是在蓝宝石衬底上制造图形模式的技术就特别重要。图形模式完整的方法是通过调节边缘的空间，保持光罩的边缘的图形模式的完整性，从而提高蓝宝石衬底的品质，但是现有的光罩(说明书附图中图一)的图形和图形的边缘的重叠结合部位形成的图形容易发成偏移，无法保证单位面积上的图形完整。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本技术提供一种边缘可拼接的光罩，保证图形和图形的边缘的重叠结合部位形成的图形不容易发成偏移，实现单位面积上的图形完整性。为了实现上述目的，本技术通过以下技术方案实现:一种边缘可拼接的光罩，包括上边、下边、短边1、短边I1、短边III和模壳，光罩为一体成型，上边至短边I距离为12 μ m至16 μ m，短边I至短边II距离为10 μ m至14 μ m，短边II至短边III距离为12 μ m至16 μ m，短边III至下边的距离为114 111至154111，模壳的直径为11.5 μ m，模壳之间的间距为3.5 μ m0所述的上边至短边I距离为14.5 μ m。所述的短边I至短边II距离为12.5 μ m。所述的短边II至短边III距离为14.5 μ m。所述的短边III至下边的距离为13.5 μ m。。本技术的有益效果是:调节了边缘的空间，以保证在进行多次曝光时，使得间的边缘能呈现完整的图形而进行的改造，对于模壳方面的要求是保证单位面积上的模壳完整和正常，在曝光时，模壳和模壳的边缘的重叠结合部位形成的模壳不会发生偏移，边缘结构和之间交合所形成的模壳不会被切分，通过调整边缘空间在进行多次曝光时，不会再对图形造成损坏，从而提高工艺区间的管控范围。【专利附图】【附图说明】图1是现有光罩的结构示意图；图2是本技术的结构示意图。图中:1、上边，2、下边，3、短边I，4、短边11，5、短边111，6、模壳。【具体实施方式】下面结合附图对本技术做进一步说明。如图2所示，本边缘可拼接的光罩，包括上边1、下边2、短边I 3、短边II 4、短边III 5和模壳6，光罩为一体成型，上边I至短边I 3距离为12 μ m至16 μ m，在生产过程中发现当上边I至短边I 3距离为14.5 μ m时，生产成本最低，可以最大限度的提高工艺区间的管控范围，最大程度的保证模壳6的完整性；短边I 3至短边II 4距离为ΙΟμπι至14μπι，在生产过程中发现当短边I 3至短边II 4距离为12.5μπι，生产成本最低，可以最大限度的提高工艺区间的管控范围，最大程度的保证模壳6的完整性；短边II 4至短边III 5距离为12μπι至16μπι，在生产过程中发现当短边II 4至短边III 5距离为14.5 μ m，生产成本最低，可以最大限度的提高工艺区间的管控范围，最大程度的保证模壳6的完整性；短边III5至下边2的距离为11 μ m至15 μ m，在生产过程中发现当短边III 5至下边2的距离为13.5 μ m，生产成本最低，可以最大限度的提高工艺区间的管控范围，最大程度的保证模壳6的完整性；模壳6的直径为11.5 μ m,模壳6之间的间距为3.5 μ m。【权利要求】1.一种边缘可拼接的光罩，包括上边(I)、下边(2)、短边I (3)、短边II (4)、短边III(5)和模壳(6)，其特征在于，光罩为一体成型，上边(I)至短边I (3)距离为12μπι至16 μ m，短边I (3)至短边II (4)距离为10 μ m至14 μ m，短边II (4)至短边111(5)距离为12 μ m至16 μ m,短边III (5)至下边(2)的距离为11 μ mM 15 μ m,模壳(6)的直径为11.5 μ m,模壳(6)之间的间距为3.5μπι。2.根据权利要求1所述的边缘可拼接的光罩，其特征在于，所述的上边(I)至短边I(3)距离为14.5 μ m。3.根据权利要求1所述的边缘可拼接的光罩，其特征在于，所述的短边I(3)至短边II(4)距离为12.5 μ m。4.根据权利要求1所述的边缘可拼接的光罩，其特征在于，所述的短边II(4)至短边III(5)距离为14.5 μ m。5.根据权利要求1所述的边缘可拼接的光罩，其特征在于，所述的短边III(5)至下边(2)的距离为13.5 μ m。【文档编号】H01L33/58GK203644820SQ201320879744【公开日】2014年6月11日 申请日期:2013年12月30日 优先权日:2013年12月30日 【专利技术者】崔相玉 申请人:徐州同鑫光电科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种边缘可拼接的光罩，包括上边（1）、下边（2）、短边Ⅰ（3）、短边Ⅱ（4）、短边Ⅲ（5）和模壳（6），其特征在于，光罩为一体成型，上边（1）至短边Ⅰ（3）距离为12μm至16μm，短边Ⅰ（3）至短边Ⅱ（4）距离为10μm至14μm，短边Ⅱ（4）至短边Ⅲ（5）距离为12μm至16μm，短边Ⅲ（5）至下边（2）的距离为11μm至15μm，模壳（6）的直径为11.5μm，模壳（6）之间的间距为3.5μm。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：崔相玉，
申请(专利权)人：徐州同鑫光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32