本发明专利技术属于发光薄膜领域，其公开了镨掺杂钨酸盐发光薄膜、其制备方法和电致发光器件；该发光薄膜具有分子通式：MeWO4:xPr3+；其中，MeWO4是基质，Pr3+是激活离子，在薄膜中充当发光中心；Me为元素Mg、Ca、Sr或Ba，x的取值0.01~0.08。本发明专利技术提供的镨掺杂钨酸盐发光薄膜，其电致发光谱(EL)中，在611nm位置有很强的发光峰。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术属于发光薄膜领域，其公开了镨掺杂钨酸盐发光薄膜、其制备方法和电致发光器件；该发光薄膜具有分子通式：MeWO4:xPr3+；其中，MeWO4是基质，Pr3+是激活离子，在薄膜中充当发光中心；Me为元素Mg、Ca、Sr或Ba，x的取值0.01~0.08。本专利技术提供的镨掺杂钨酸盐发光薄膜，其电致发光谱(EL)中，在611nm位置有很强的发光峰。【专利说明】镨掺杂钨酸盐发光薄膜、其制备方法和电致发光器件
本专利技术涉及发光薄膜领域，尤其涉及一种镨掺杂钨酸盐发光薄膜及其制备方法。 本专利技术还涉及一种电致发光器件发光器件，该器件发光层的材质采用镨掺杂钨酸盐发光薄膜。
技术介绍
薄膜电致发光显示器（TFELD)由于其主动发光、全固体化、耐冲击、反应快、视角 大、适用温度宽、工序简单等优点，已引起了广泛的关注，且发展迅速。对于掺铬钨酸锌室温和低温下的光谱及激光性质，很多研究工作者已经有不少文 献报道。但是，以此类物质作发光材料制备成电致发光的薄膜，仍未见报道。
技术实现思路
基于上述问题，本专利技术所要解决的问题在于提供一种镨掺杂钨酸盐发光薄膜。本专利技术的技术方案如下：一种镨掺杂钨酸盐发光薄膜，具有分子通式：MeW04:XPr3+ ;其中，MeW04是基质，Pr3+ 是激活离子，在薄膜中充当发光中心；Me为元素Mg、Ca、Sr或Ba，x的取值0. Of 0. 08 ;优 选，x的取值0. 05。上述镨（Pr)掺杂钨酸盐共掺杂氯硼酸盐发光薄膜的制备方法，包括步骤：(1)、将清洗干净的氧化铟锡玻璃放置在化学气相沉积设备的真空反应腔中，抽真 空处理；其中：氧化铟锡玻璃包括玻璃基底，以及溅镀在玻璃表面、起导电阳极作用的氧化铟锡 (简称IT0)，因此，氧化铟锡玻璃又称作IT0玻璃；优选，IT0玻璃被置入真空腔体前，还需对其进行清洗处理：先后用丙酮、无水乙 醇和去离子水超声清洗IT0玻璃，然后，氮气风干；(2)、700°C下对氧化铟锡玻璃进行热处理10?30分钟，然后降温至25(T650°C ；(3)、打开化学气相沉积设备的旋转电机，调节衬底托的转速为5(T1000转/分，随 后通入含有（C5H5)2Me、W(C0)6和Pr(DPM)3)的载气Ar气，气流量为5?15sccm ;接着通入氧 气，气流量为120SCCm，开始薄膜的沉积；其中，(C5H5)2Me、W(C0)6和Pr(DPM)3)的摩尔比为 1:1:0. 01 ?0. 08 ;优选，1 ：1 ：0. 05 ；待上述制膜工艺完成后，在氧化铟锡玻璃的氧化铟锡表面制得所述的镨掺杂钨酸 盐发光薄膜，该发光薄膜具有分子通式：MeW04:XPr3+ ;其中，MeW04是基质，Pr3+是激活离子， 在薄膜中充当发光中心；上述式中，Me为元素Mg、Ca、Sr或Ba, x的取值0. 01?0. 08，优选，x的取值0. 05。所述镨掺杂钨酸盐发光薄膜的制备方法，优选，步骤（1)中，所述抽真空处理是采 用机械泵和分子泵进行的，且真空腔体的真空度为1. o X 10_3Pa?l. 0 X 10_5Pa ;更有选，所述 抽真空处理后，真空腔体的真空度为4. OX 10_4Pa。所述镨掺杂钨酸盐发光薄膜的制备方法，优选，步骤(2)中，所述降温处理时的温度为500°C。所述镨掺杂钨酸盐发光薄膜的制备方法，优选，步骤(3)中，所述衬底托的旋转速度为300转/分钟；载气Ar气流量为IOsccm ;氧气流量为120sCCm。本专利技术还提供一种电致发光器件，该器件包括氧化铟锡玻璃、层叠在氧化铟锡玻璃的氧化铟锡表面发光薄膜层，以及层叠在发光薄膜层表面的阴极，其特征在于，所述发光薄膜层的材质具有分子通式:MeW04:XPr3+ ;其中，MeffO4是基质，Pr3+是激活离子，在薄膜中充当发光中心；Me为元素Mg、Ca、Sr或Ba，χ的取值0.01-0.08，优选，χ的取值0.05。本专利技术提供的镨掺杂钨酸盐发光薄膜，其电致发光谱(EL)中，在611nm位置有很强的发光峰。【专利附图】【附图说明】图1为实施例1制得的发光薄膜的EL光谱图；图2为实施例12制得的电致发光器件的结构示意图。【具体实施方式】下面结合附图，对本专利技术的较佳实施例作进一步详细说明。实施例11、先后用甲苯、丙酮和乙醇超声各清洗ITO玻璃5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后ITO玻璃后送入化学气相沉积设备的真空反应腔中；然后用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至4.0X 10_3Pa ；2、接着，把ITO玻璃进行700°C热处理20分钟，然后温度降为500°C ；3、打开化学气相沉积设备的旋转电机，调节衬底托的转速为300转/分钟，通入三种有机源(摩尔比分别为I:1:0.05的(C5H5)2Mg' W(CO)6和Pr(DPM)3)的载气Ar气，流量为IOsccm ;随后通入氧气，流量为120SCCm，开始薄膜的沉积；通过调节几种有机源的流量来控制镨在钨酸盐基质中的含量，同时控制薄膜的厚度沉积至150nm，关闭有机源和载气，继续通氧气，温度降至室温，取出样品，即镨掺杂钨酸盐发光薄膜，分子式为MgW04:0.05Pr3+。图1为实施例1制得的发光薄膜的EL光谱图；由图1可知，镨掺杂钨酸盐发光薄膜的电致发光谱(EL)中，在611nm位置有很强的发光峰。实施例21、先后用甲苯、丙酮和乙醇超声各清洗ITO玻璃5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后ITO玻璃后送入化学气相沉积设备的真空反应腔中；然后用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X 10_3Pa ；2、接着，把ITO玻璃进行700°C热处理10分钟，然后温度降为250°C ；3、打开化学气相沉积设备的旋转电机，调节衬底托的转速为50转/分钟，通入三种有机源(摩尔比分别为I:1:0.08的(C5H5)2Mg' W(CO)6和Pr(DPM)3)的载气Ar气，流量为IOsccm ;随后通入氧气，流量为lOsccm，开始薄膜的沉积；通过调节几种有机源的流量来控制镨在钨酸盐基质中的含量，同时控制薄膜的厚度沉积至80nm，关闭有机源和载气，继续通氧气，温度降至室温，取出样品，即镨掺杂钨酸盐发光薄膜，分子式为MgW04:0.08Pr3+。实施例31、先后用甲苯、丙酮和乙醇超声各清洗ITO玻璃5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后ITO玻璃后送入化学气相沉积设备的真空反应腔中；然后用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至1.0X 10_2Pa ；2、接着，把ITO玻璃进行700°C热处理30分钟，然后温度降为650°C ；3、打开化学气相沉积设备的旋转电机，调节衬底托的转速为1000转/分钟，通入三种有机源(摩尔比分别为I:1:0.01的(C5H5)2Mg'W(CO)6和Pr(DPM)3)的载气Ar气，流量为IOsccm ;随后通入氧气，流量为200SCCm，开始薄膜的沉积；通过调节几种有机源的流量来控制镨在钨酸盐基质中的含量，同时控制薄膜的厚度沉积至300nm，关闭有机源和载气，继续通氧气，温度降至室温，取出样品，即镨掺杂钨酸盐发光薄膜，分子式为MgW04:0.01Pr3+o实施例41、先后用甲苯、丙酮和乙醇超声各清洗ITO玻璃5分钟，然后用蒸馏水冲洗干净，氮气风干后ITO玻璃后送入化学本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种镨掺杂钨酸盐发光薄膜，其特征在于，具有分子通式：MeWO4:xPr3+；其中，MeWO4是基质，Pr3+是激活离子，在薄膜中充当发光中心；Me为元素Mg、Ca、Sr或Ba，x的取值0.01~0.08。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周明杰，王平，陈吉星，黄辉，
申请(专利权)人：海洋王照明科技股份有限公司，深圳市海洋王照明技术有限公司，深圳市海洋王照明工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
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