液体排出头及其制造方法技术

液体排出头及其制造方法。该液体排出头包括基板和流路形成构件，流路形成构件在基板上形成多个流路和与流路连通的排出口。液体待从排出口排出。在多个流路之间形成间隙，并且在间隙中填充有填充材料。在液体待从排出口排出的方向为向上的方向的情况下，填充材料的顶面位于与流路形成构件的喷射口面相同高度的位置处或者位于在向上的方向上比流路形成构件的喷射口面高的位置处。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】。该液体排出头包括基板和流路形成构件，流路形成构件在基板上形成多个流路和与流路连通的排出口。液体待从排出口排出。在多个流路之间形成间隙，并且在间隙中填充有填充材料。在液体待从排出口排出的方向为向上的方向的情况下，填充材料的顶面位于与流路形成构件的喷射口面相同高度的位置处或者位于在向上的方向上比流路形成构件的喷射口面高的位置处。【专利说明】
本专利技术涉及液体排出头和该液体排出头的制造方法。
技术介绍
通过排出诸如墨等的液体来记录图像并且以喷墨记录设备为代表的记录设备包括液体排出头。排出口形成于这种液体排出头，使用从能量产生元件产生的能量将液体从排出口排出。这种液体排出头包括基板和流路形成构件。流路形成构件形成于基板上并且是形成了供液体流动的流路和与流路连通的排出口的构件。流路形成构件由树脂、金属或诸如氮化硅等的无机材料形成。通常，在基板上形成多个流路(液室)，并且形成排出口，各排出口均与一个流路相对应。多个流路(即彼此相邻的液室)通过形成各液室的流路形成构件彼此分离。有时可以在多个流路之间形成间隙，S卩，在流路形成构件的形成一个流路的部分和流路形成构件的形成与该一个流路相邻的另一个流路的部分之间形成间隙。在日本特表2010-512262号公报(以下称为“专利文献I”)中说明了包括由无机材料制成的流路形成构件的液体排出头。在专利文献I中说明的液体排出头的制造过程中，均被构造为形成流路(液室)的模具构件形成于基板，以诸如覆盖模具构件的方式通过化学气相沉积方法(CVD方法)涂布无机膜。然后在无机膜中形成排出口，最后，去除模具构件，以形成流路。在通过这种方法制造的液体排出头中，沿着均具有液室形状的模具构件形成无机膜，因而，在模具构件之间形成间隙。换言之，在流路之间形成的流路形成构件中形成间隙。在流路形成构件中以此方式形成间隙的情况下，有时液体排出头的强度可能低。因此，专利文献I说明了采用填充材料填充这种间隙。
技术实现思路
本专利技术提供一种液体排出头，其包括:基板；和流路形成构件，其在所述基板上形成多个流路和与所述流路连通的排出口。液体从所述排出口排出。在所述多个流路之间形成间隙并且所述间隙填充有填充材料。在液体从所述排出口排出的方向为向上的方向的情况下，所述填充材料的顶面位于与所述流路形成构件的喷射口面相同高度的位置处或者位于在向上的方向上比所述流路形成构件的喷射口面高的位置处。本专利技术还提供一种液体排出头的制造方法，所述液体排出头包括基板和流路形成构件，所述流路形成构件在所述基板上形成多个流路和与所述流路连通的排出口，所述液体排出头从所述排出口排出液体，所述方法包括:形成模具构件，其中所述模具构件被构造为在所述基板上形成所述多个流路的图案；以所述流路形成构件覆盖所述模具构件的方式形成所述流路形成构件；以研磨停止层至少覆盖所述流路形成构件的待形成所述排出口的区域的方式形成所述研磨停止层；以形成于所述模具构件之间的间隙填充有填充材料的方式涂布所述填充材料；通过研磨所述填充材料使所述研磨停止层露出；去除所述研磨停止层；并且使所述排出口形成于所述流路形成构件。从下面参照附图对示例性实施方式的说明，本专利技术的其它特征将变得明显。【专利附图】【附图说明】图1A和图1B是示出根据本专利技术的液体排出头的实施例的图。图2A至图21是示出根据本专利技术的液体排出头的制造方法的实施例的图。图3是示出根据本专利技术的液体排出头的另一个实施例的图。图4A至图4C是示出根据本专利技术的液体排出头的制造方法的另一个实施例的图。【具体实施方式】近年来，在专利文献I说明的液体排出头中，需要改善液体排出头的排出效率并减小从这种液体排出头排出的液滴的大小。为了实现这个目的，可以减小流路形成构件的厚度，特别是可以减小流路形成构件的围绕在排出口周围的区域(即所谓的孔板)的厚度。在减小孔板的厚度的情况下，孔板的强度变低。结果，例如，在各孔板的作为顶面的喷射口面(face surface)与在运输期间变形的记录介质等接触的情况下,孔板很可能受损。在喷射口面受损的情况下，排出口可能变形。另外，在专利文献I中说明的液体排出头中，通过CVD方法形成包括孔板的流路形成构件，因而，在孔板的厚度减小的情况下，整个流路形成构件的厚度减小。结果，整个流路形成构件的强度减小，并且流路形成构件很可能由于与记录介质等的接触而受损。因此，本专利技术提供一种液体排出头，其中，即使流路形成构件与记录介质等接触，流路形成构件也不可能受损。图1A是示出根据本专利技术的液体排出头的实施例的图。液体排出头包括基板1、能量产生元件2和流路形成构件5。基板I由硅等制成。各能量产生元件2均是由热转换元件(加热器)或压电元件形成的，其中，热转换元件(加热器)由TaSiN等制成。虽然能量产生元件2布置于基板I，但能量产生元件2不需要与基板I接触并且可以以诸如浮在基板I上方的方式布置。流路形成构件5是由树脂、金属或无机材料制成的。树脂的示例为诸如环氧树脂等的感光性树脂。金属的示例为SUS板，无机材料的示例为SiN、SiC和SiCN等。图1A示出流路形成构件5由无机材料制成的情况。流路形成构件5形成多个流路11和排出口 10，各排出口 10均与对应的一个流路11连通。多个流路11中的每一个均形成与一个排出口 10相对应的液室。流路形成构件5的围绕在排出口 10周围的部分被称为孔板4。流路形成构件5的各孔板4的顶面均为喷射口面8。在图1A中，喷射口面8是流路形成构件5的顶面。通过干法蚀刻、使用TMAH等的湿法蚀刻或激光处理等使供给口 12形成于基板I。从供给口 12供给的液体被能量产生元件2施能并且从排出口 10排出。图1B是沿着图1A的线IB-1B截取的截面图。在流路11之间形成的流路形成构件5中形成间隙，该间隙填充有填充材料9。通过采用填充材料9填充已形成于多个流路11之间的间隙，减小施加到流路形成构件5的压力，并且能够增强流路形成构件5的强度。这里，在根据本专利技术的液体排出头中，在液体从排出口 10排出的方向为向上的方向的情况下，即，在与基板I的表面垂直并且作为已排出的液体的流动方向的方向为向上的方向的情况下，由填充材料9制成的填充构件的顶面位于与流路形成构件5的喷射口面8同样的高度或位于在向上的方向上比流路形成构件5的喷射口面8高的位置。结果，即使由于例如卡纸等而已经变形的记录介质从上方接触到液体排出头，由填充材料9制成的填充构件首先与记录介质接触，使得能够抑制流路形成构件5、特别是喷射口面8的破损的发生。均由填充材料9制成的多个填充构件可以布置于液体排出头。当从上方观察喷射口面8时，均由填充材料9制成的填充构件可以以一个排出口 10介于均由填充材料9制成的填充构件之间的方式布置。现在将参考图2A至图21说明根据本专利技术的液体排出头的制造方法。图2A至图21是沿着图1A的线I1-1I截取的截面图。首先，如图2A所示，制备包括能量产生元件2的基板I。基板I可以为硅单晶基板。在基板I为硅单晶基板的情况下，能够容易地形成驱动能量产生元件2的驱动电路和连接驱动电路与能量产生元件2的配线。各能量产生元件2均是由例如以TaSiN等制成的热转换元件(加热器)或压电元件形成的。接下来，如图2B所示，形成模具构件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体排出头，其包括：基板；和流路形成构件，其在所述基板上形成多个流路和与所述流路连通的排出口，其中，液体从所述排出口排出，在所述多个流路之间形成间隙并且所述间隙填充有填充材料，以及在液体从所述排出口排出的方向为向上的方向的情况下，所述填充材料的顶面位于与所述流路形成构件的喷射口面相同高度的位置处或者位于在向上的方向上比所述流路形成构件的喷射口面高的位置处。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：后藤明夫，樋口广志，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP