液体喷射装置及其一体成型制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种液体喷射装置及其一体成型制造方法，其中，方法包括在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件；在第一基底的第一表面上形成与多个压力发生部件对应的压力腔室以及与多个压力腔室连通的公共腔室；通过键合工艺在压力腔室上成形有喷孔板以及通过光刻工艺在喷孔板上形成有与压力腔室连通的喷孔。本发明专利技术提供的液体喷射装置及其一体成型制造方法，是在第一基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室，当需要增加高液体喷射装置的压力腔室的数量时，由于本实施例是在第一基底上单独形成压力腔室，因而不会减小第一基底的机械强度，在制造过程中可以避免第一基底破损，从而提高液体喷射装置的成品率，降低制造成本。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种，其中，方法包括在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件；在第一基底的第一表面上形成与多个压力发生部件对应的压力腔室以及与多个压力腔室连通的公共腔室；通过键合工艺在压力腔室上成形有喷孔板以及通过光刻工艺在喷孔板上形成有与压力腔室连通的喷孔。本专利技术提供的，是在第一基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室，当需要增加高液体喷射装置的压力腔室的数量时，由于本实施例是在第一基底上单独形成压力腔室，因而不会减小第一基底的机械强度，在制造过程中可以避免第一基底破损，从而提高液体喷射装置的成品率，降低制造成本。【专利说明】
本专利技术涉及打印机技术，尤其涉及一种。
技术介绍
打印机的液体喷射装置是通过压电元件和振动板的变形，使压力腔室的体积发生变化，从而将压力腔室中的墨水从喷孔喷出。现有的一种液体喷射装置包括基底、设置在基底第一面上的振动板和压电元件以及粘接在基底第二面(与第一面相对的一面)上的喷孔板。现有的液体喷射装置的制造方法是:在基底的第一面形成振动板和压电元件，在基底的第二面通过蚀刻工艺，在该基底上蚀刻出多个与压电元件位置相对应的存储液体的压力腔室以及与供墨孔位置相对应的公共腔室，最后，在基体的第二面粘结喷孔板，使喷孔板上的多个喷孔分别与各个压力腔室连通。该液体喷射装置在工作时，压电元件在电压驱动下产生变形，并传递给振动板引起压力腔室体积变化，使得压力腔室中的液体从喷孔中喷出而完成打印。但是，为了提高打印机的打印分辨率，需要增加高液体喷射装置的压力腔室的数量，由于现有的液体喷射装置的压力腔室是在基底上蚀刻形成，增加压力腔室数量需要减小相邻压力腔室的侧壁厚度，因而必然会导致作为基底的硅片的机械强度下降，在制造过程中容易出现基底破损而使液体喷射装置的成品率降低，制造成本较高；另一方面，由于喷嘴板是通过粘合剂粘接在压力腔室的基底上，若粘合剂流入压力腔室中，也会影响到打印质量。
技术实现思路
本专利技术提供一种，用于解决现有技术中液体喷射装置一体成型制造方法制造出的液体喷射装置成品率低、制造成本较高且打印质量较差的技术缺陷。本专利技术提供的一种液体喷射装置一体成型制造方法，包括:在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件；在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室；通过键合工艺在所述压力腔室上成形有喷孔板以及通过光刻工艺在所述喷孔板上形成有与所述压力腔室连通的喷孔。本专利技术还提供一种液体喷射装置，该液体喷射装置是用上述的液体喷射装置一体成型制造方法制造的。本专利技术提供的，是在第一基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室，当需要增加高液体喷射装置的压力腔室的数量时，由于本实施例是在第一基底上单独形成压力腔室，因而不会减小第一基底的机械强度，在制造过程中可以避免第一基底破损，从而提高液体喷射装置的成品率，降低制造成本。并且，通过键合工艺形成喷孔板和通过光刻工艺在喷孔板上形成喷孔，可以避免粘合剂流入压力腔室中，能够提高液体喷射装置的打印质量。【专利附图】【附图说明】图1为本专利技术实施例提供的一种液体喷射装置一体成型制造方法的流程图；图2为图1中步骤200的一种【具体实施方式】的流程图；图3为图1中步骤300的一种【具体实施方式】的流程图；图4为图1中步骤100的一种【具体实施方式】的流程图；图5为本专利技术实施例提供的另一种液体喷射装置一体成型制造方法的流程图；图6为本专利技术实施例制造的液体喷射装置的结构示意图；图7A-图7H为本专利技术实施例中步骤200的一种【具体实施方式】的产品制造过程结构视图；图8A-图8G为本专利技术另一实施方式的产品制造过程结构视图；图9A-图9C为本专利技术又一实施方式的产品制造过程结构视图；图1OA-图1OB为本专利技术再一实施方式的产品制造过程结构视图。【具体实施方式】图1为本专利技术实施例提供的一种液体喷射装置一体成型制造方法的流程图，如图1所示，本实施例提供的液体喷射装置一体成型制造方法，包括:步骤100，在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件。步骤200，在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室。具体地，图2为图1中步骤200的一种【具体实施方式】的流程图；如图2所示，步骤200，在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室，可以包括:步骤201，在第一基底的第一表面上设置腔室层并曝光，限定压力腔室和公共腔室的形状和位置。具体地，图6为本专利技术实施例制造的液体喷射装置的结构示意图；图7A-图7H为本专利技术实施例中步骤200的一种【具体实施方式】的产品制造过程结构视图，如图6和7A所不，第一基底I可以为娃基底，第一基底I的第一表面为图中所不第一基底I的上表面，可以在第一基底I的第一表面上悬涂腔室层5a,腔室层5a的材料可以为具有良好机械加工性能的负性光敏胶SU8，腔室层5a可以涂满整个第一基底I上表面，腔室层5a的厚度与压力腔室和公共腔室的高度尺寸相匹配。如图6和7B所示，可以采用掩模板12a对腔室层5a进行曝光，并且通过掩模板12a的结构形式及曝光工艺限定压力腔室5和公共腔室7的形状和位置，其中，腔室壁5b被固化，不会被后续工艺采用的显影液去除。步骤202，显影形成压力腔室和公共腔室。如图7C所示，可以采用显影液1，2丙二醇甲酸酯(PMEGA)显影腔室层5a，被固化的腔室壁5b被保留下来，其余的部分被去除后形成压力腔室5和公共腔室7 (图6所示)。步骤300，通过键合工艺在所述压力腔室上成形有喷孔板以及通过光刻工艺在所述喷孔板上形成有与所述压力腔室连通的喷孔。具体地，图3为图1中步骤300的一种【具体实施方式】的流程图；如图3所示，步骤300可以包括:步骤301，在第二基底上悬涂喷孔层。如图7D所示，第二基底I’的材料可以为有机玻璃等，喷孔层6a的材料可以为具有良好机械加工性能的负性光敏胶SU8。步骤302，通过键合工艺将所述腔室层的腔室壁与所述喷孔层粘接在一起，如图7E所示。步骤303，剥离所述第二基底，如图7F所示。进一步地，如图7G和图7H所示，可以采用掩模板12b对喷孔层6a进行曝光，并且通过掩模板12b的结构形式及曝光工艺限定喷孔的形状和位置，其中，喷孔壁被固化，不会被后续工艺采用的显影液去除。采用显影液1，2丙二醇甲酸酯(PMEGA)显影喷孔层6a，被固化的喷孔壁保留下来，其余的部分被去除后形成喷孔6。本实施例提供的液体喷射装置一体成型制造方法，是在第一基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室，当需要增加高液体喷射装置的压力腔室的数量时，由于本实施例是在第一基底上单独形成压力腔室，因而不会减小第一基底的机械强度，在制造过程中可以避免第一基底破损，从而提高液体喷射装置的成品率，降低制造成本。并且，通过键合工艺形成喷孔板和通过光刻工艺在喷孔板上形成喷孔，可以避免粘合剂流入压力腔室中，能够提高液体喷射装置的打印质量。图4为图1中步骤100的一种【具体实施方式】的流程图，图8A-图8G为本专利技术另一实施方式的产品制造过程结构视图。如图4所示，在上述实施例技术方案的基础上，步骤100，在第一基底上形成多个间隔设置的压本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邹赫麟，何敬志，李越，陈晓坤，
申请(专利权)人：大连理工大学，珠海纳思达企业管理有限公司，
类型：发明
国别省市：