致动器、可变形镜、使用可变形镜的自适应光学系统和使用自适应光学系统的扫描激光检眼镜技术方案

本发明专利技术涉及致动器、可变形镜、使用可变形镜的自适应光学系统和使用自适应光学系统的扫描激光检眼镜。提供了一种致动器，其包括：衬底；可动部，设置为使得相对于衬底可动；至少三个弹性体，用于以可移位方式将可动部支撑到衬底上；由可动部支撑并且在与衬底的表面平行的方向上延伸的可动梳状电极；以及由衬底支撑并且在与衬底的表面平行的方向上延伸的固定梳状电极，其中可动梳状电极和固定梳状电极被布置为使得在有间距的情况下交替地彼此啮合，并且所有弹性体中的每一个弹性体具有相对于其它弹性体中的至少一个弹性体形成大于90°且小于或等于180°的角度的长轴。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及致动器、使用致动器的可变形镜、使用可变形镜的自适应光学系统、和使用自适应光学系统的扫描激光检眼镜（ophthalmoscope）。
技术介绍
期望将通过静电引力移位的类型的可动镜应用于利用光的各个领域。例如，可动镜可以被用作要被安装在眼底检查设备、天文望远镜等中的自适应的光学波前校正装置。作为通过静电引力移位的这种可动镜的代表性的示例，已知通过使用两个平行板电极使得能够进行移动的手段，但是这种平行板类型具有移动量较小的缺点。与此对比，近年来，已经提出使用梳状电极并且可以实现较大的移动量的可变形镜。其一个示例被公开在美国专利No.6,384,952中。如图8中所示出的，在可变形镜中，支撑可动侧的梳状电极520的支撑部530和支撑固定侧的梳状电极510的支撑部570分别位于该附图纸张的垂直方向上的上下侧。可动梳状电极和固定梳状电极彼此相对，并且被布置为使得在有间距的情况下交替地排列。利用这个，可以实现比平行板类型中的电极交迭区域大的电极交迭区域。因此，可以在梳状电极之间产生更大的静电引力，并且因此可以增大移动量。然而，在美国专利No.6,384,952中公开的结构中，在可动梳状电极的移动方向上布置固定梳状电极和它的支撑部。因此，与作用于电极的弹簧的恢复力相比，过度的静电引力可能作用于可动梳状电极。结果，在一些情况下，可动侧的梳状电极与固定侧的支撑部相撞，这对应于称为吸合（pull-in）的现象。因此，在这个结构中，不容易获得较大的移动量。此外，梳状电极被使用，并且因此当在除与梳状表面平行的方向以外的不必要方向上使可动部移位的这种分量大时，可能在可动梳状电极和固定梳状电极之间出现吸合，或者可动梳状电极和固定梳状电极可能彼此接触。
技术实现思路
已经鉴于上述问题作出了本专利技术，并且本专利技术具有如下的一个目的，即提供包括梳状电极的致动器和使用致动器的可变形镜，该致动器和可变形镜具有即使在移动方向上的显著的移位期间也不引起吸合的结构并且具有能够防止由不必要方向上的移位引起的吸合出现的结构。根据本专利技术的一个实施例的致动器采用以下配置。具体地，该致动器包括：衬底；可动部，设置为使得相对于衬底可动；至少三个弹性体，用于连接可动部和衬底；包括多个梳齿的可动梳状电极，所述可动梳状电极的多个梳齿中的每个梳齿具有由可动部支撑的一个端部并且从由可动部支撑的一个端部在与衬底的表面平行的方向上延伸；以及包括多个梳齿的固定梳状电极，所述固定梳状电极的多个梳齿中的每个梳齿具有由衬底支撑的一个端部并且从由衬底支撑的一个端部在与衬底的表面平行的方向上延伸，其中所述可动梳状电极的多个梳齿以及所述固定梳状电极的多个梳齿被布置为使得在有间距的情况下交替地彼此啮合。所有所述至少三个弹性体中的每一个弹性体具有相对于其它弹性体中的至少一个弹性体的长轴形成大于90°且小于或等于180°的角度的长轴。此外，根据本专利技术的一个实施例的可变形镜采用以下配置。具体地，该可变形镜包括：至少一个上述的致动器；以及具有反射表面的镜部，所述镜部与至少一个致动器的可动部连接，所述可变形镜能够通过操作至少一个致动器来改变镜部的形状。此外，根据本专利技术的一个实施例，提供了一种自适应光学系统，其包括：布置在光路上的可变形镜，所述可变形镜包括致动器以及与所述致动器连接的具有反射表面的镜部；波前传感器，用于测量入射光的波前；以及自适应光学控制器，用于基于波前传感器测量的波前来计算反射表面的形状以便获得没有像差的波前，其中所述致动器包括上述的致动器，并且自适应光学控制器控制致动器，以使得可变形镜的反射表面具有所计算出的反射表面的形状。此外，根据本专利技术的一个实施例，提供了一种扫描激光检眼镜，其利用光照射待检查眼睛以便基于从待检查眼睛的眼底反射的光的光强度来获得眼底图像，所述扫描激光检眼镜包括：光源；光扫描部，用于扫描从光源发射的光；以及光强度传感器，用于接收从待检查眼睛的眼底反射的光的光强度，其中上述的自适应光学系统被布置在从光源到待检查眼睛的光路上。从以下参考附图的示例性实施例的描述中本专利技术更多的特征将变得清晰。附图说明图1是示出根据本专利技术的第一实施例和示例1的致动器的透视图。图2是示出根据本专利技术的第一实施例和示例1的致动器的顶视图。图3A和图3B是示出根据本专利技术的第一实施例和示例1的致动器的操作的截面图。图4是示出根据本专利技术的第二实施例和示例2的可变形镜的一部分的透视图。图5是示出根据本专利技术的第二实施例和示例2的可变形镜的操作的截面图。图6A是根据本专利技术的第一实施例和示例3的致动器的顶视图，并且图6B是比较示例的顶视图。图7是示出根据本专利技术的第一实施例和示例4的致动器的顶视图。图8是示出现有技术的可变形镜的视图。图9为根据本专利技术第三实施例的SLO设备的示意图。具体实施方式在本专利技术的致动器和使用致动器的可变形镜中，与可动梳状电极一起被移位的可动部相对于衬底由至少三个弹性体支撑，可动梳状电极相对于固定梳状电极在与衬底表面垂直的方向上通过静电引力被移位。此外，每个弹性体具有相对于其它弹性体中的至少一个弹性体的长轴形成大于90°且小于或等于180°的角度的长轴。在通过那些条件限定的配置中，可以根据特定的要求适当地设计衬底、设置为使得相对于衬底可动的可动部、可动梳状电极和固定梳状电极、以及弹性体。以这样的方式，可以容易地实现能够防止由移动方向上的显著的移位或者不必要方向上的移位引起的吸合的出现的结构。稍后在实施例和示例中描述具体的结构，但是当然本专利技术不限于此。例如，其长轴形成178°、91°和91°的角度的三个弹性体支撑可动部到衬底上的这种结构是可能的。（第一实施例）在下面，参考图1和图2，描述根据本专利技术的致动器。图1是本实施例的致动器的透视图，并且图2是本实施例的致动器的顶视图。通过处理板状衬底101形成致动器100。可动部102由至少三个（在该情况下为三个）弹性体105支撑到衬底101上，使得可在与衬底表面垂直的方向上移位。每个弹性体105由能够至少在与衬底101的表面垂直的方向上被弯曲的板弹簧、棒状弹簧等形成。可动梳状电极103包括多个梳齿，每个梳齿具有由可动部102支撑的一个端部。每个梳齿在与衬底表面平行的方向上从由可动部102支撑的一个端部延伸。...

【技术保护点】
一种致动器，包括：衬底；可动部，设置为使得相对于衬底可动；至少三个弹性体，用于连接可动部和衬底；包括多个梳齿的可动梳状电极，所述可动梳状电极的多个梳齿中的每个梳齿具有由可动部支撑的一个端部并且在与衬底的表面平行的方向上从由可动部支撑的一个端部延伸；以及包括多个梳齿的固定梳状电极，所述固定梳状电极的多个梳齿中的每个梳齿具有由衬底支撑的一个端部并且在与衬底的表面平行的方向上从由衬底支撑的一个端部延伸，其中所述可动梳状电极的多个梳齿以及所述固定梳状电极的多个梳齿被布置为使得在有间距的情况下交替地彼此啮合，以及其中所有所述至少三个弹性体中的每一个弹性体具有相对于其它弹性体中的至少一个弹性体的长轴形成大于90°且小于或等于180°的角度的长轴。

【技术特征摘要】
2012.11.07 JP 2012-2458631.一种致动器，包括：
衬底；
可动部，设置为使得相对于衬底可动；
至少三个弹性体，用于连接可动部和衬底；
包括多个梳齿的可动梳状电极，所述可动梳状电极的多个梳齿中
的每个梳齿具有由可动部支撑的一个端部并且在与衬底的表面平行
的方向上从由可动部支撑的一个端部延伸；以及
包括多个梳齿的固定梳状电极，所述固定梳状电极的多个梳齿中
的每个梳齿具有由衬底支撑的一个端部并且在与衬底的表面平行的
方向上从由衬底支撑的一个端部延伸，
其中所述可动梳状电极的多个梳齿以及所述固定梳状电极的多
个梳齿被布置为使得在有间距的情况下交替地彼此啮合，以及
其中所有所述至少三个弹性体中的每一个弹性体具有相对于其
它弹性体中的至少一个弹性体的长轴形成大于90°且小于或等于180°
的角度的长轴。
2.根据权利要求1所述的致动器，
其中所述可动部包括延伸部，以及
其中所述至少三个弹性体的至少一部分连接到延伸部。
3.根据权利要求1所述的致动器，
其中所述可动部包括延伸部，以及
其中所述可动梳状电极的多个梳齿的至少一部...

【专利技术属性】
技术研发人员：岛田康弘，尾崎裕之，玉森研爾，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP