高空间分辨率子孔径拼接方法技术

高空间分辨率子孔径拼接方法，涉及超高空间分辨率子孔径拼接方法，解决现有技术存在的问题，将干涉仪与高精度六维运动台固定，利用补偿镜头将干涉仪发出的平面波变为待测表面对应的波形；驱动Stewart平台带动小孔径角的镜头围绕待测表面的零像差点进行转动，获得待测表面的子孔径位置以及波像差数据；对子孔径位置及波前数据进行分析，实现待测表面的子孔径拼接；通过获得的子孔径的波前拟合待测表面整体波前的Zernike系数，实现去除子孔径的低阶像差；利用周期图法从子孔径得到整体待测表面的功率谱，并利用功率谱得到镜面的斜率均方根。本发明专利技术突破现有CCD成像单元的限制，得到大口径光学表面的超高分辨率面形检测结果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基于小孔径角干涉仪、高精度六维运动平台的超高空间分辨率子孔径拼接方法。
技术介绍
随着科学技术的不断发展，大口径光学系统在天文光学、空间光学、地基空间目标探测与识别等高
得到了越来越广泛的应用，其表面面形的检测与评价直接影响着其制造精度与成像质量。但是对于大口径的光学元件，原来的整镜检测技术已经不能适应需要。子孔径拼接技术是一种以低成本、高分辨率检测大口径光学元件的有效手段。当被测平面光学元件尺寸超过干涉仪口径，或者检测非球面所产生的干涉条纹密度大于CCD空间分辨率，利用小口径干涉仪每次仅检测整个光学元件的一部分区域(子孔径)，待完成全孔径测量后，再使用适当的算法“拼接”就可得到全孔径面形信息。拼接技术可以分为相关拼接与非相关拼接。相关拼接技术的基本思想是在拼接区提取相关信息并将多次测量结果拼接起来，得到被测物体的全部信息，进而得到面形评价指标。这种方法虽然降低了对于测量仪器的要求，但是不仅增加了解算成本而且拼接误差与拼接顺序以及重本文档来自技高网...

【技术保护点】
高空间分辨率子孔径拼接方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、将干涉仪与高精度六维运动台固定，利用补偿镜头将干涉仪发出的平面波变为待测表面对应的波形；步骤二、驱动Stewart平台带动小孔径角的镜头围绕待测表面的零像差点进行转动，获得待测表面的子孔径位置以及波像差数据；步骤三、对步骤二获得的子孔径位置及波前数据进行分析，通过获得的子孔径的波前拟合待测表面整体波前的Zernike系数，去除子孔径的低阶像差；利用周期图法从子孔径得到整体待测表面的功率谱，并利用功率谱得到镜面的斜率均方根；实现待测表面的子孔径拼接；具体过程为：利用二维功率谱及功率谱频域平均半径，将二维功率谱坍陷为一维形式：&r...

【技术特征摘要】
1.高空间分辨率子孔径拼接方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：
步骤一、将干涉仪与高精度六维运动台固定，利用补偿镜头将干涉仪发
出的平面波变为待测表面对应的波形；
步骤二、驱动Stewart平台带动小孔径角的镜头围绕待测表面的零像差
点进行转动，获得待测表面的子孔径位置以及波像差数据；
步骤三、对步骤二获得的子孔径位置及波前数据进行分析，通过获得的
子孔径的波前拟合待测表面整体波前的Zernike系数，去除子孔径的低阶像差；
利用周期图法从子孔径得到整体待测表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨飞，安其昌，赵宏超，苏燕芹，郭鹏，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22