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高空间分辨率子孔径拼接方法，涉及超高空间分辨率子孔径拼接方法，解决现有技术存在的问题，将干涉仪与高精度六维运动台固定，利用补偿镜头将干涉仪发出的平面波变为待测表面对应的波形；驱动Stewart平台带动小孔径角的镜头围绕待测表面的零像差点进行...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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