玻璃基板搬送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的目的在于提供一种可通过使玻璃基板稳定地悬浮着进行搬送而抑制玻璃基板产生缺陷的玻璃基板搬送装置。本实用新型专利技术的玻璃基板搬送装置(100)包括基板悬浮单元(20)与基板搬送单元(30)。基板悬浮单元(20)包含多个沿着搬送方向(D1)隔以间隔而配置的浮动面板(22)。浮动面板(22)包含气体喷出机构(22a)及基板对向面(22b)。气体喷出机构(22a)喷出对玻璃基板(10)的表面吹送的气体。基板对向面(22b)是与被搬送的玻璃基板(10)的气体所吹送的表面相对向的面。浮动面板(22)是以基板对向面(22b)的高度位置随着朝向搬送方向(D1)逐渐下降的方式配置。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术的目的在于提供一种可通过使玻璃基板稳定地悬浮着进行搬送而抑制玻璃基板产生缺陷的玻璃基板搬送装置。本技术的玻璃基板搬送装置(100)包括基板悬浮单元(20)与基板搬送单元(30)。基板悬浮单元(20)包含多个沿着搬送方向(D1)隔以间隔而配置的浮动面板(22)。浮动面板(22)包含气体喷出机构(22a)及基板对向面(22b)。气体喷出机构(22a)喷出对玻璃基板(10)的表面吹送的气体。基板对向面(22b)是与被搬送的玻璃基板(10)的气体所吹送的表面相对向的面。浮动面板(22)是以基板对向面(22b)的高度位置随着朝向搬送方向(D1)逐渐下降的方式配置。【专利说明】 玻璃基板搬送装置
本技术涉及一种玻璃基板搬送装置。
技术介绍
在液晶显示装置等平板显示器(FPD，Flat Panel Display)的制造步骤中，在玻璃基板的表面形成包含TFT (Thin Film Transistor,薄膜晶体管)等半导体元件、及黑色矩阵(black matrix)树脂等的图案。如果在形成图案的玻璃基板的表面存在伤痕、裂痕及异物等缺陷，那么将不会良好地形成图案，而导致作为最终成品的FH)的不良。尤其是形成在玻璃基板的表面的微小伤痕及裂痕会导致玻璃基板的机械强度下降，而在FPD的制造步骤中玻璃基板发生破裂。因此，要求玻璃基板的表面不存在缺陷。在玻璃基板的制造步骤中，将已成形的玻璃片材切断成特定的大小，而获得作为成品出厂的尺寸的玻璃基板。其后，玻璃基板经过利用研削及研磨的端面加工步骤、清洗步骤及检查步骤后被捆绑包装而出厂。在检查步骤中，例如，一边搬送玻璃基板，一边对存在于玻璃基板表面的伤痕、裂痕及异物等缺陷进行光学性探测。在玻璃基板的检查步骤中，以往是使用滚轮输送机(roller conveyor)作为玻璃基板的搬送装置。然而，如果玻璃的微小片等异物附着在滚轮输送机的滚轮上，那么会因与旋转的滚轮接触而导致在搬送的玻璃基板表面形成异物所引起的伤痕。为了解决该问题，近年来，如专利文献I (日本专利特开2006-188313号公报)所公开那样，使用如下玻璃基板搬送装置，即，对玻璃基板的表面吹送气体而使玻璃基板悬浮，且吸附保持着玻璃基板的端部进行搬送。在使用该搬送装置的方法中，玻璃基板不与搬送装置接触，而是以悬浮的状态被搬送。因此，因玻璃基板与搬送装置接触而导致在玻璃基板的表面产生缺陷的情况被抑制。然而，当使玻璃基板悬浮着进行搬送时，存在因玻璃基板本身的翘曲而导致玻璃基板与搬送装置接触的情况。而且，根据以下三个理由，难以完全地测定玻璃基板的翘曲。作为第一个理由，针对大量生产的各片玻璃基板，在现实中难以测定其自由形状。作为第二个理由，即便想要通过从大量生产的玻璃基板中抽出检查用的玻璃基板来测定翘曲，从而预测特定生产批次中的翘曲的倾向，玻璃基板的自由形状也会在某种程度范围内变化。作为第三个理由，从大型的母玻璃中采集的多个小型玻璃基板的自由形状的测定特别困难。为了解决该问题，专利文献2(日本专利特开2012-96920号公报)中公开了一种玻璃基板搬送装置，该玻璃基板搬送装置是在对玻璃基板的表面吹送气体而使玻璃基板悬浮的同时，抽吸气体而对玻璃基板赋予向下的力。在使用该搬送装置的搬送方法中，以悬浮状态被搬送的玻璃基板的形状在某种程度上被矫正，所以减轻了玻璃基板的翘曲的影响。日本专利特开2006-188313号公报日本专利特开2012-96920号公报
技术实现思路
然而，像专利文献2所公开那样，在玻璃基板的搬送装置包含多个沿着玻璃基板的搬送方向空出特定的间隔而配置的浮动面板的情况下，会产生由玻璃基板的翘曲引起的其他问题。具体来说，在沿着玻璃基板的搬送方向相邻的浮动面板间的区域内，因玻璃基板未受到向下的力，所以玻璃基板的形状不会被矫正。因此，在该区域内，玻璃基板欲恢复为自身固有的形状，因而玻璃基板有可能产生翘曲。因此，有如下之虞:当玻璃基板通过浮动面板间的区域时，因翘曲而导致垂下的玻璃基板的端部会接触于搬送装置，而使玻璃基板破裂。本技术的目的在于提供一种可通过使玻璃基板稳定地悬浮着进行搬送而抑制玻璃基板产生缺陷的玻璃基板搬送装置。本技术的玻璃基板搬送装置包括基板悬浮单元与基板搬送单元。基板悬浮单元是对玻璃基板的表面吹送气体而使玻璃基板悬浮的单元。基板搬送单元是沿着搬送方向搬送通过基板悬浮单元而悬浮的玻璃基板的单元。基板检查单元是检查由基板搬送单元搬送的玻璃基板的单元。基板悬浮单元包含多个沿着搬送方向隔以间隔而配置的浮动面板。浮动面板包含气体喷出机构及基板对向面。气体喷出机构喷出对玻璃基板的表面吹送的气体。基板对向面是与被搬送的玻璃基板的气体所吹送的表面相对向的面。浮动面板是以基板对向面的高度位置随着朝向搬送方向而逐渐下降的方式配置。本技术的玻璃基板搬送装置是沿着特定的搬送方向搬送玻璃基板的装置。使玻璃基板悬浮的基板悬浮单元具有如下构成，即，沿着玻璃基板的搬送方向空出特定的间隔而配置着多个浮动面板。该玻璃基板搬送装置中，在基板悬浮单元的上方，悬浮着被搬送的玻璃基板的形状在某种程度上被矫正。因此，在基板悬浮单元的上方，玻璃基板的翘曲减轻。另一方面，悬浮着被搬送的玻璃基板因在通过沿着搬送方向相邻的浮动面板间的区域期间其形状未被矫正，所以欲恢复为自身固有的形状。因此，在浮动面板间的区域内，玻璃基板有可能产生翘曲。然而，浮动面板是以使与被搬送的玻璃基板的下表面相对向的基板对向面的高度位置沿着玻璃基板的搬送方向逐渐下降的方式配置成阶梯状。因此，即便在正通过浮动面板间的区域的玻璃基板的端部因翘曲而垂下的情况下，也能抑制玻璃基板的端部接触于浮动面板。因此，该玻璃基板搬送装置可通过使玻璃基板稳定地悬浮着进行搬送而抑制玻璃基板产生缺陷。另外，优选为沿着搬送方向配置的浮动面板的基板对向面与水平面平行。另外，优选为基板悬浮单元使从浮动面板的气体喷出机构喷出的气体的流量随着朝向搬送方向而逐渐增加。在从浮动面板的气体喷出机构喷出的气体的流量沿着玻璃基板的搬送方向固定的情况下，被搬送的玻璃基板的高度位置会与浮动面板的基板对向面的高度位置一起逐渐降低。然而，通过使从气体喷出机构喷出的气体的流量沿着玻璃基板的搬送方向逐渐增加，而能够抑制被搬送的玻璃基板的高度位置的下降。由此，可抑制由基板搬送单元搬送的玻璃基板的变形。另外，优选为本技术的玻璃基板搬送装置还包括基板检查单元。基板检查单元是检查由基板搬送单元搬送的玻璃基板的光学器件。浮动面板沿着与搬送方向正交的方向即玻璃基板的宽度方向延伸。基板检查单元配置在相邻的浮动面板之间。该玻璃基板搬送装置可检测形成在玻璃基板表面的缺陷。该装置中，可在沿着玻璃基板的搬送方向相邻的浮动面板间设置沿玻璃基板的宽度方向延伸的基板检查单元。因此，可节约玻璃基板的搬送方向上的基板检查单元的设置空间。本技术的玻璃基板的制造方法包括基板悬浮步骤、基板搬送步骤及基板处理步骤。基板悬浮步骤是对玻璃基板的表面吹送气体而使玻璃基板悬浮的步骤。基板搬送步骤是沿着搬送方向搬送通过基板悬浮步骤而悬浮的玻璃基板的步骤。基板处理步骤是对在基板搬送步骤中被搬送的玻璃基板进行加工或检查的步骤。在基板悬本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：伊势广教，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，
类型：实用新型
国别省市：