本发明提供一种化学气相沉积装置及方法，包括外腔体、运动托盘、内腔体、排气腔体、托盘凹槽、晶片承载区、加热装置、供气管道、第一排气管道和第二排气管道；若干个独立的内腔体中通入相同或不同反应前体气体或惰性气体，通过内腔体与托盘上表面之间的毛...

本发明涉及一种无压烧结碳化硅泡沫陶瓷，其陶瓷均匀浆料包括以下重量份的组分：主料100份，分散剂0.1~1.5份，增塑剂0.1~1.5份，羧甲基纤维素0.1~1.5份，粘结剂10~45份，消泡剂0.1~1.5份，所述的主料为按重量百分比为...