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紫焰科技股份有限公司专利技术
紫焰科技股份有限公司共有1项专利
非接触式物理蚀刻系统技术方案
本发明公开一种非接触式物理蚀刻系统,其由一工作腔体、一空心腔体、一工作气体供应装置、一等离子产生装置、一第一遮罩、以及一载台所构成。不同于现有的湿式蚀刻设备与干式蚀刻设备,此非接触式物理蚀刻系统不需要事先对靶材(待蚀刻物)执行任何光刻工...
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