一种能够降低时效变化的气体流量计，包括形成的含有腔室的半导体基材和在半导体基材腔室以上通过绝缘膜形成的热元件。该热元件是在高浓度下杂质掺杂的硅（Ｓｉ）半导体薄膜。在硅（Ｓｉ）半导体薄膜以上和以下形成作为屏蔽层的化学计量稳定的氮化硅（Ｓｉ...

热式空气流量计在空气通道中设置具有温度依赖性的加热电阻元件并从具有加热电阻元件的仪表电路的输出Ｖ２中测量空气流量。此外，热式空气流量计具有通过高于二次表达式的多项表达式校正输出特性的计算电路。通过应用这种计算电路，通过不采用激光微调并且...

提供一种具有嵌入成型外壳的发势电阻式流量测定装置，在应力高的位置或者附近的金属板上设置仅贯通树脂的孔；在加厚树脂厚度，并且局部地加大树脂内外的温度差的位置附近，设置从原来的目的出发并不需要的连接接头的部分形状；使焊缝线与内腔不复合的出射...

一种检测箱中液位的系统，包括一个设置到箱上并根据一个浮子的位移检测液面位置的传感器部件，和一个布置在箱内，与液体隔离开，并装有传感器部件的传感器壳体。

在通过被测定流体（气体）的一部分的副通路上，设置有流量测定元件。在副通路的壁体上，设置使浸入、堆积在内部的液体排出的泄漏孔（贯通孔）。在泄漏孔的副通路外壁侧的开口面附近，设置在该开口上产生动压的突起。或者在副通路内壁面上，设置位于泄漏孔...

一种热式空气流量计，在平板状基板（硅基板）（１）上形成的矩形状空间的热绝缘区域（２）的绝缘膜（６）上形成发热电阻体（４），在发热电阻体（４）的上游侧与下游侧形成两个测温电阻体。矩形状空间的热绝缘区域（２）具有与空气流轴线平行的边的长度比...

用热电型流量测定仪进行流量检测时，即使当流体温度和电路温度不同时也可获得具有较小的随温度变化的测量误差的流速值。通过将测量误差调整到一个与流速无关的常量，就可以根据流体的温度对热电型流量测定仪的流体温度变化造成的测量误差进行校正。另一方...

在发热电阻器式空气流量计中，由温度特性补正电路（４０）补正因空气流量计的电路温度而输出发生变化的空气流量信号的温度特性。温度特性补正电路（４０）产生感应周围的温度而变化的补正用温度特性信号，该温度特性信号被变换为规定的比率的信号。被变换...

在对存储系统中的存储卷的数据生成拷贝时，提供一种技术，其中减少从处理器发出指示的劳动，且保证相关卷的数据一致性。对作为复制源和复制目的地的逻辑单元的数据，从处理器的拷贝控制程序发出包括指定信息的单个拷贝指令。存储系统的控制单元具有多拷贝...

一种提高流量测量精度优异的加热式空气流量计。空气流量计的测量元件由在第１基板上形成发热电阻和温度补偿电阻构成。在支撑流量测量元件的壳体内部容纳具有空气流量计（５）的驱动电路和信号处理装置的第２基板。流量测量元件，配置在空气通路上。进行空...

一种热式流体流量计，其特征在于，　　　　具备：　　　　流量测定元件（１），其被配置在流体通路内，且在同一基板上形成有：通过流通有电流而发热的发热电阻（５）、用于检测流体温度的温度补偿电阻（６ａ）、测定上述发热电阻（５）的上游的温度的第一...

本发明提供一种流量传感器，能够通过在半导体衬底上隔着绝缘膜形成具有相对较高的ＴＣＲ的金属膜来实现高灵敏度。作为热式流体流量传感器的测量元件包括：由第１金属膜构成的发热电阻体（３）、测温电阻体（上游侧测温电阻体（４ａ）和下游侧测温电阻体（...

一种在热式流量计，减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时，减小来自安装构件的应力影响，从而能够长时间维持测定精度。在隔膜（４）上配置电阻体（６）和发热电阻体（６）周边的发热电阻体（７），并且在偏离隔膜（４）的位置配置感温电阻体（８、９、...

一种热式流量传感器，在待测量流体中配置热式流量传感器的流量测量元件（１）。流量测量元件（１）具备：用于检测流量的第一发热电阻体（７）；用于加热第一发热电阻体（７）的支撑体（５）的第二发热电阻体（９）；和按第二发热电阻体（９）的温度比第一...

提供一种热式流量测定装置，在用于测定汽车等的内燃机的吸入空气量的热式流量计中，存在高转速、高脉动时脉动误差增加的问题。同时存在数字性恢复响应性时受到时钟等的偏差的影响，脉动性能容易劣化的问题。在传感器一侧设置将响应的偏差的主要原因传递给...

提供一种流量测量装置，其具有热式流量测量装置迂回通路，具备副空气通路，该副空气通路在流量计测部之前具有孔，其中，当流量突变时，输出值会落入负值一侧。可实现能够抑制该输出值落入负值一侧的热式流量测量装置。在比位于迂回通路之后的流量检测元件...

本发明提供一种热式流量传感器，其降低灰尘向传感器元件的冲击，并且降低由传感器元件周围的被测定流体的流动的剥离导致的测定误差。该热式流量传感器具备：沿在主通路内流动的流体的流动方向设置的基座部；和安装在该基座部上、在基板上形成有用于检测在...

一种热式气体流量计，至少具有１个以上第１发热电阻体，在流体中至少配置２个以上电阻体，在支撑第１发热电阻体和传感器元件的框体间，配置与第１发热电阻体在电气上不同系统的第２发热电阻体，在具有这样的传感器元件的气体流量计中，在第１发热电阻体和...

本发明提供一种设置在发动机室内的电子设备，其提高提高电子部件与基板的导体配线的连接寿命，并且还提高导体配线相对于腐蚀性气体的耐腐蚀性，延长由传感器部件及控制单元构成的电子设备的耐用年数。该设备具有电路基板（１１）、配置在该电路基板（１１...

本发明提供一种热式流量计，在隔膜部（２）的表面形成发热电阻体（６），在发热电阻体（６）的两侧（空气流上下游侧）形成温度差传感器（９～１２）。温度传感器（９、１０）配置在发热电阻体（６）的上游侧，温度差传感器（１１、１２）配置在发热电阻体...