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株式会社堀场制作所专利技术
株式会社堀场制作所共有419项专利
气体分析装置及气体分析方法制造方法及图纸
本发明能够高精度地测定半导体制造工艺所用的材料气体或因半导体制造工艺所产生的副生成气体所含的卤化物的浓度或分压,气体分析装置对半导体制造工艺所用的材料气体或因半导体制造工艺而产生的副生成气体所含的卤化物的浓度或分压进行分析,并具备:气体...
半导体激光元件、半导体激光装置及其制造方法和气体分析装置制造方法及图纸
一种半导体激光元件、半导体激光装置及其制造方法和气体分析装置。分布反馈式的半导体激光元件(3)在波导路(3L)上形成有衍射光栅(3M),稳定地输出单模的光且增大光的强度。波导路(3L)包括:衍射光栅部(301),形成有衍射光栅(3M);...
血液标本的判断方法、用于其的判断装置以及计算机程序制造方法及图纸
根据血液标本的Hb值、MCV值、CRP值排除来源于炎症性贫血的被检查者的血液标本,根据除此以外的血液标本(A1)的血清铁蛋白值,判断该血液标本(A1)是来源于缺铁性贫血的被检查者的血液标本还是来源于地中海贫血的被检查者的血液标本(A2)...
分析装置、分析系统、分析方法、校正方法以及程序制造方法及图纸
本发明提供分析装置、分析系统、分析方法、校正方法以及程序,能够高精度地分析碳为主要成分的颗粒状物质。分析装置(5、5
异物除去装置和异物除去方法制造方法及图纸
本发明提供异物除去装置和异物除去方法,不论形成在对象物的表面的结构物的结构如何都能够提高异物除去性能,在利用从形成有吹出口的喷嘴吹出的气体除去附着在对象物上的异物的异物除去装置中,所述吹出口的两端部的开口率小于该吹出口的中央部的开口率。...
排气分析装置、排气分析方法及排气分析装置用程序存储介质制造方法及图纸
本发明提供一种排气分析装置、排气分析方法以及排气分析装置用程序存储介质,所述排气分析装置(2)对燃料燃烧而产生的排气进行分析,具备:第一分析仪(21),测量排气中的测量对象成分的浓度;第二分析仪(22),测量排气中的CO2的浓度;存储作...
测试系统、控制装置、测试方法及测试系统用程序制造方法及图纸
本发明提供一种测试系统,测试被测体,该被测体是车辆或所述车辆的一部分,该被测体具备传感器以及电子控制装置,该电子控制装置具有取得来自所述传感器的输出信号并诊断所述车辆或所述车辆的一部分的车辆诊断功能,所述测试系统具备:模拟信号产生装置,...
元素分析装置、元素分析装置的操作方法和元素分析装置的动作程序制造方法及图纸
本发明提供元素分析装置、元素分析装置的操作方法和元素分析装置的动作程序。所述脱气机构(4)包括:压送流道(41),向所述加热炉(1)压送吹扫气体;排出流道(42),使所述加热炉(1)与外部空气连通,将压送到所述加热炉(1)内的吹扫气体向...
稀释气体混合单元及排气分析系统技术方案
本发明提供一种稀释气体混合单元以及排气分析系统,为了即使在降低稀释比使稀释气体流量降低了的情况下也降低混合气体的喷起对背景测量的影响,稀释气体混合单元(X)用于对用稀释气体对排气进行稀释而形成的混合气体进行分析的排气分析系统(100),...
元素分析装置、安装夹具及安装方法制造方法及图纸
本发明提供一种元素分析装置、安装夹具及安装方法,对于形成有在元素分析时在内部收容坩埚的收容凹部的电极能够仅更换消耗了的电极端头部分,元素分析装置(100)在第一电极(31)与第二电极(32)之间夹持放入有试样的坩埚(MP),通过使电流流...
分析装置及分析系统制造方法及图纸
本实用新型提供一种分析装置及分析系统,分析装置能够供给测量对象气体的分析所需要的吹扫气体等而不会增大使用者的负担。分析装置(100、100
放射线检测器以及放射线检测装置制造方法及图纸
本发明提供能够抑制性能下降的放射线检测器以及放射线检测装置。放射线检测器具备:放射线检测元件、电路元件、以及收纳所述放射线检测元件和所述电路元件的壳体,所述放射线检测器具备封闭空间,所述壳体具有未被封闭的开口部,所述封闭空间配置在所述壳...
元素分析装置制造方法及图纸
本发明提供一种元素分析装置,能更换电极端头且在更换时能不将空气封入电极内从而能降低元素分析的误差,元素分析装置(100)在第一电极(31)与第二电极(32)之间夹持放入有试样的坩埚(MP),通过使电流流过所述第一电极(31)以及所述第二...
分析装置、分析装置用程序及分析方法制造方法及图纸
本发明提供的分析装置(100),修正由于共存成分引起的共存影响或者参照光的波长偏移而产生的测量对象成分的光吸收光谱的变化,高精度地测量测量对象成分的浓度,对试样中包含的测量对象成分进行分析,其具备:光源(2),对试样射出参照光;光检测器...
元素分析方法、元素分析装置和元素分析装置用程序制造方法及图纸
本发明涉及元素分析方法、元素分析装置和元素分析装置用程序。为了提供能够缩短元素分析所需的时间且能够将零点修正的精度保持为与以往等同的元素分析方法,在加热炉内对投入坩埚的试样进行加热,由分析机构测定从所述加热炉导出的气体所含的元素的量,对...
辐射温度计制造技术
本发明提供一种辐射温度计,能够小型化并且能够加大电路规模,辐射温度计具备:红外线传感器(2);信号处理部(4),对红外线传感器(2)的信号进行处理;以及外壳(5),收容红外线传感器(2)以及信号处理部(4),信号处理部(4)是通过间隔件...
试样容器及元素分析装置制造方法及图纸
本发明提供试样容器和元素分析装置,即使是非一定形状的固体形态试样,但如果是能够插入加热炉内的大小,则能够收容,能够容易相对于加热炉内进出,试样容器(100)用于加热试样(W)、抽出成分气体并进行分析的元素分析装置(200),在收容有所述...
元素分析方法及元素分析装置制造方法及图纸
本发明提供元素分析方法和元素分析装置,能够缩短分析时间。所述元素分析方法,使用元素分析装置对试样进行分析,所述元素分析装置具备:炉主体,呈在一端设置有试样放入口的管状,沿着其管轴方向产生温度梯度;以及分析仪,对从在该炉主体内被加热的所述...
车辆测试系统、转向反作用力输入装置和转向功能评价方法制造方法及图纸
本发明提供车辆测试系统、转向反作用力输入装置和转向功能评价方法。车辆测试系统(100)在底盘测功机上评价被测体的转向功能,所述被测体为具有自动转向功能的车辆或其一部分,车辆测试系统(100)对作为具有自动转向功能的车辆或其一部分的被测体...
动态观测系统技术方案
本发明提供动态观测系统,即使在大型观测基地内观测的对象物存在各种各样的限制,也能够掌握与对象物实际被应用的环境、被组合的其它构成要素的相关关系,其具备:大型观测装置,使用量子束观测对象物;再现装置,设置在所述大型观测装置内,在用所述大型...
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