本发明提供了一种用于将高斯激光光束整形成平顶光束的衍射元件。该衍射元件结构由下层基底和上层刻蚀相位结构组成，结构分为匀化结构、整形结构、轮廓加强结构、匀化补偿结构和基底结构组成，结构呈左上到右下的对角线对称的不规则环带特异结构。该衍射元...

本发明提供了一种非周期表面纹理结构的透镜。透镜的传统加工过程中金刚石刀具按照固定的周期距离进行走刀磨削，该过程会在透镜表面留下周期性刀纹纹理，其周期性衍射对激光匀化整形和成像显示等诸多场景的应用产生干扰。本发明通过添加随机数，形成非周期...

本发明公开了一种消除白光干涉仪在检测过程中累积欧拉角影响的方法，涉及超精密加工检测技术领域。该方法包括：采集微结构样品3D表面的点云数据；分析点云数据的特征确定其3D面型；根据3D面型确定其立体结构模型，选用分析法计算点云数据与X,Y,...

本实用新型公开了一种用于加工90度离轴抛物面反射镜的通用夹具，涉及光学材料超精密加工技术领域。本实用新型包括：安装底盘、抛物镜以及中间转接块；中间转接块与安装底盘通过销钉定位并使用第一螺栓连接，中间转接块与抛物镜通过销钉定位并使用第二螺...

本发明公开了一种自动精准消除白光干涉仪检测数据的噪点的方法，涉及超精密加工检测技术领域。该方法包括：采集微结构样品面型的2D截面数据，获取所述2D截面数据中的单周期范围内数据；检测所述单周期范围内数据，选取有效区间，使其检测数据的中心对...

本发明公开了一种扫描式哈特曼像质检测系统和方法，涉及光学检测技术领域。扫描式哈特曼像质检测系统包括沿光路传播方向依次设置的激光器、可变光阑、待测镜头、扩束镜和哈特曼传感器，还包括数据采集卡、移动机构和上位机；数据采集卡用于采集哈特曼传感...

本发明公开了一种带背面光阑的微透镜列阵及其制备方法，沿光线传输方向依次包括：微透镜整列、透明基片以及光阑整列，所述微透镜整列由若干个预设形状的微透镜按预设周期排布形成，所述光阑整列包括若干个光阑，所述光阑与所述微透镜的位置一一对应，所述...

本发明提供一种宽光谱干涉显微测量方法、装置、电子设备及介质，该宽光谱干涉显微测量方法包括：获取待测样品的干涉图；确定干涉图的调制度，通过调制度标识干涉图的第一区域，第一区域用于表征符合设定阈值的相位展开区域；对第一区域执行相位展开，得到...

本发明公开了一种激光分束器，包括若干阵列排布的头冠形结构，所述头冠形结构包括连续的样条曲面以及以所述样条曲面的质心对称设置的两个陡直的峭壁。本发明克服了传统二元台阶型衍射光学器件仅能利用第一级衍射，导致衍射角度受特征尺寸的限制，采用微小...

本实用新型涉及LED驱动技术领域，公开了一种LED驱动系统，实现单独控制LED灯阵列的效果。本实用新型包括多组LED灯组、分别与一个所述LED灯组输入端电性连接的多个恒流源以及分别与每一个所述恒流源的控制端电性连接的控制器。本实用新型利...

本实用新型涉及光刻胶曝光技术领域，公开了一种调节装置，能够调节对基片向上的压力大小。本实用新型包括底座，设有第一孔和第二孔；活动柱，以活动连接方式穿设于第二孔上；可调节的气囊，填充于第一孔内；半球型的碗槽，设于活动柱上端且底部设有可调节...

本实用新型涉及光功率检测技术领域，公开了一种光功率检测装置，能够提高检测效率。本实用新型包括若干个十字型的支架，以阵列分布地方式相互拼接；若干个探头，分别固定于每一个所述支架的中部上；数据处理系统，分别与每一个所述探头电性连接。本实用新...

本发明公开了一种匀光片，包括多个微透镜，至少一个所述微透镜包括交替叠加的折射型曲面和衍射型台阶结构。当激光入射到该匀光片上时，入射光被微透镜分割，并通过微透镜折射型曲面的发散作用在远场形成发散的光斑，同时通过微透镜表面的衍射型台阶结构调...

本实用新型涉及显示面板曝光技术领域，公开了一种掩膜装置，解决了无需取下掩膜架，则可实现掩膜板的直接更换。本实用新型包括：掩膜架，设有用于吸附待加工件的真空吸附孔；框架，与所述掩膜架转动连接，使所述掩膜架在所述框架内翻转。本实用新型利用掩...

本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种光刻机照度均匀度的检测方法，够对照面的照度均匀度进行快速地精准检测。本发明包括以下步骤：S100、选取m×m个探测器单元，以其中一个探测器单元作为基准探测器单元对其余探测器单元的输出电压值进行修正；S...

本实用新型提供的工程漫射体光学性能检测装置，包括：光源、承载驱动台、屏幕、图像探测器及计算机，所述承载驱动台可调整所述光源、工程漫射体样品、屏幕以及图像探测器两两之间的相对位置，使得所述光源发射的光线通过所述工程漫射体样品照射所述屏幕后...

本发明提供的激光分束器，所述激光分束器的前光学表面及后光学表面均由周期阵列排布的光栅组成，且前光学表面的光栅夹角及后光学表面的光栅夹角在0°至90°之间，由于本发明提供的激光分束器由双面一维光栅组成，一维光栅在设计难度、结构制作难度和精...

本实用新型提供的激光分束器，所述激光分束器的光学表面由周期阵列排布的三维微弧面组成，所述激光分束器件的光学表面在激光入射下，在远场产生错位排布的分束点阵图案，所述的分束点阵图案中，无能量远大于其他级次的中央零级光斑，本实用新型提供的激光...

本实用新型提供的激光分束器由阵列排布的菲涅尔环组成，利用菲涅尔折叠降低三维曲面微透镜的矢高，加工深度浅，易于制作。此外，本实用新型提供的激光分束器，可获得与三维曲面微透镜阵列相同的衍射效果，即在远场产生大角度的均匀性好的分束图案，且分束...

本实用新型提供的激光匀化器，所述激光匀化器的表面由多个曲面微透镜构成，任意一所述曲面微透镜的口径为多边形，所述多边形的边数随机设置，任意一所述曲面微透镜的中心点的位置随机设置，任意一所述曲面微透镜的口径边缘交叉点的位置随机，且相邻口径的...