本发明涉及制备微晶硅，更具体的说是一种制备微晶硅的方法，该方法包括以下步骤：步骤一：将基板部件插入到底部的制备腔内；步骤二：转换环转动带动基板部件经过两个气流腔体之间，气流腔体喷出气流对基板部件进行清洗；步骤三：转换环转动带动基板部件经...