本发明公开了一种晶圆清洗棒的浸泡清洗槽，包括：槽体结构，其包括支撑架以及设置于支撑架上的槽体和输送组件，所述输送组件用于输送脱模工装后的晶圆清洗棒并将其输送至槽体内；清洗液输送结构，其包括设置于支撑架上端的输送泵，所述槽体的外侧壁上固定...