本发明公开了一种三氯氢硅的生产系统和方法，所述系统包括反应单元、分离单元和再生单元，所述反应单元包含至少一个固定床反应器，分离单元包含一个主精馏塔，再生单元包括侧线采出泵、再生塔。本发明通过在主精馏塔的提馏段设置侧线采出口，并将采出的重...