正阳融合微电子技术珠海有限公司专利技术

正阳融合微电子技术珠海有限公司共有7项专利

  • 本发明提供了一种利用文丘里管混合电镀液循环、回流和补液的方法,该方法通过构建包含储液模块、主循环管路、回流管路和文丘里管的循环系统,利用文丘里管的射流作用形成低压区,将回收电镀液和补充药液高效吸入并混合,其中,射流管延伸至收缩段起始位置...
  • 本发明提供了一种利用贝努利原理来多档动态控制电镀液流量的装置,包括多档动态流量控制组件,所述多档动态流量控制组件包括静压管、至少两组并联设置的变径支路单元、与所述变径支路单元数量相同的汇合管和流量计,每个所述变径支路单元包括多个第一变径...
  • 本发明提供了一种面板和半导体线路的水平双面电镀方法,该方法采用三层组合腔体结构,上层和下层为电镀阳极层,中间层为电镀阴极层;将待电镀工件固定于中间层的旋转夹具上,通过驱动结构驱动旋转夹具以可调转速旋转,实现双面导电;通过上下喷流装置输送...
  • 本发明提供了一种水平双面电镀的阴阳极控制方法,该方法包括:将阳极分为上下两层并划分为多个径向宽度递减的同心环状独立控制区域;通过隔离式电子开关组件对各区域电流进行分时独立控制,并根据电镀件厚度分布动态调整通断时间比,控制电镀件旋转的同时...
  • 本发明提供了一种面板和半导体线路的水平双面电镀设备及其电镀工艺,包括带圆环旋转结构的机台,所述圆环旋转结构的中部设置有电镀机构,所述电镀机构由固定于所述机台上的下腔体结构、环绕于所述下腔体结构外围的中腔体结构以及升降配合于所述中腔体结构...
  • 本发明提供了一种图形和线路的湿法制造的装置及其喷淋方法,该装置包括喷淋腔体、带气胀轴的转盘架、前摆动机构和后摆动机构,通过第一驱动电机驱动空心转轴组件带动转盘架旋转,齿轮传动组件驱动后摆动喷管反向扇形摆动,与前摆动喷管同步形成非同心喷淋...
  • 本发明提供了一种气液喷淋系统及其气液供给管理方法,所述系统包括气液管理模块、产品喷淋模块和设备维护输出模块。气液管理模块集成氮气、压缩空气、纯水、化学药水及循环水输入模组,通过第一连通管并联至产品喷淋模块和设备维护模块,实现介质快速切换...
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