本申请公开了一种基于多孔衍射干涉的多维误差测量装置及方法，涉及装备测量领域，该基于多孔衍射干涉的多维误差测量装置中的测量组件包括衍射孔板；测量组件固定在目标装备上，且与目标装备的轴线方向平行；目标装备在空间进行多自由度移动时带动测量组件...