张沁言专利技术

张沁言共有1项专利

  • 本申请涉及存内计算存储器技术领域,尤其涉及一种具备顶部全局栅极线的三维铁电存储器及其制备方法。所述具备顶部全局栅极线的三维铁电存储器包括:中心栅极,沿相对于所述底部衬底的垂直方向延伸设置;半导体叠层结构,所述半导体叠层结构包括依次环所述...
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