本发明公开一种宽谱线投影光学系统的倍率调节方法，其包括以下步骤，提供一种为在物方和像方皆接近远心光路的缩小的宽谱线投影光学系统，其从物平面到像平面依次包括具有正光焦度的第一镜组、可变孔径光阑、第二镜组和具有正光焦度的第三镜组，第二镜组满...