本发明提供一种宽谱线高分辨率光学系统，其包括：光源单元、照明单元、成像单元；光源单元包括：光源以及聚光元件，照明单元包括：第一照明镜头、匀光部件、第二照明镜头，经过第二照明镜头的光束投射至第二照明面；成像单元包括：第一成像镜头，其包括依...

本发明提供了一种高分辨率无掩模光刻系统以及曝光方法，可以大幅度提高分辨率，且未增加计算复杂度，包括：曝光光源，用于产生光束；聚光镜系统，用于汇聚所述曝光光源生产的光束并将光束投射到空间光调制器上；空间光调制器，用于将投射到所述空间光调制...

本发明提供了一种用于无掩模光刻的投影成像系统，其具有成像效果好、畸变小、宽光谱、成本低的优点，沿着光轴由物面至像面依次包括：第一镜组，光阑，第二镜组，第三镜组，所述第一镜组至少包括1个负透镜和2个正透镜，所述第二镜组包括至少1个负透镜和...

本发明提供了一种高分辨率的无掩模光刻系统，其对成像系统进行改进，可以大幅度提高分辨率，同时光学镜片少，成本低，包括顺序设置的曝光光源、聚光部件、积分器、投射部件、空间光调制器、第一成像系统、聚光元件阵列、空间滤波器、第二成像系统，其特征...

本发明提供了一种能够高效曝光的无掩模光刻系统，可以的提高曝光效率，减少曝光时间，包括顺序设置的：曝光光源、聚光部件、积分器、投射部件，将光束投射到空间光调制器上；空间光调制器将投射到空间光调制器上的光束调制成特征图形光束后输出；第一成像...

本实用新型一种铅直方向的精密调整装置，背板与平台相互垂直设置，背板上沿铅直方向设置滑动导轨，平台通过其上的滑块与背板相连，背板上安装高度固定座，高度固定座上沿铅直方向安装高度调节机构，高度固定座一侧安装锁紧机构，平台侧面安装延伸调节板，...

本实用新型一种五维调节装置，包括由下至上依次设置的基板a、基板b和基板c，基板b通过高度调节单元固定在基板a上，高度调节单元竖直设置于基板b的三个角处，Z方向导向螺栓穿过Z方向调节螺栓并沿竖直方向螺栓固定在基板a上，Z方向调节螺栓竖直安...

本实用新型公开了一种差分螺旋调整装置，差分螺杆上设有两种以上螺距不同的螺纹，基座和移动部件上分别具有螺距不同的螺纹且分别与差分螺杆上的螺纹适配，差分螺杆与基座和移动部件连接，形成两对螺旋副，导向部件固定于基座上，差分螺杆在基座内转动并左...

本实用新型一种新型差分距离调整装置，差分螺杆上设有两种以上螺距不同的外螺纹和内螺纹，基座和移动部件上分别有螺距不同的螺纹且分别与差分螺杆上的螺纹适配，差分螺杆与基座和移动部件连接，移动部件和基座上开有键槽，键固定于基座的键槽内，键在移动...

本实用新型一种差分螺纹锁紧机构，差分螺杆上设置两种以上不同螺距的外螺纹，基座和移动部件上分别开有不同螺距的内螺纹孔，且分别匹配差分螺杆上的外螺纹，差分螺杆分别与基座和移动部件进行螺纹连接，锁紧装置包括调节部件、回复部件和被锁紧机构，调节...

本发明公开了一种带有重力补偿机构的五维方向调节系统，背板与方向调节台垂直设置，基板a相对背板竖向往复运动，背板上安装锁紧机构和第一高度调节单元，基板a侧面安装延伸连接板，第一高度调节单元顶部支撑于延伸连接板下面，重力补偿机构包括预拉伸或...

本发明公开一种折反射式物镜，用于将物平面内的图形成像到像平面内，从物平面一侧到像平面一侧沿其光轴方向，依次包括第一镜组、第二镜组、第三镜组。第一镜组、第二镜组均具有正光焦度，第一镜组为具有至少2个折射面和至少2个反射面的折反射镜组，且折...

本发明公开一种大视场高分辨率物镜，用于将物平面内的图形成像到像平面内，从物平面一侧到像平面一侧沿其光轴方向，依次包括第一镜组、第二镜组。第一镜组、第二镜组均具有正光焦度，第一镜组为具有至少2个折射面和至少2个反射面的折反射镜组，且折反射...

本发明公开了一种大视场高分辨光学系统，其包括成像透镜阵列、像感器阵列、信号处理单元、及位于物面与像面一之间的投影物镜一与分割透镜阵列。这三个阵列中的每个单元为相互对应的一对一的映射关系。分割透镜阵列位于像面一的附近，而成像透镜阵列、像感...

本发明公开了一种宽视场高分辨率投影物镜，其从物侧到像侧依次包括第一、第二、第三镜组。在第一、第三镜组之间设置有等效平行平板和光阑。在第二镜组中，至少含有两个空气透镜满足：|(r21-r22)/(r21+r22)|<0.6，|(Vd...

本发明公开了一种宽光谱大视场投影物镜，其从物侧到像侧依次包括第一、第二、第三镜组。在第一、第三镜组之间设置有光阑和满足Tpl＞0.6Dop的等效平行平板。在第二镜组中，至少含有两个空气透镜满足：|(r21-r22)/(r21+r22)|...

本发明公开了一种宽光谱大视场投影物镜，其从物侧到像侧依次包括第一、第二、第三镜组。在第一、第三镜组之间设置有光阑。在第二镜组中，至少含有两个空气透镜满足：|(r21-r22)/(r21+r22)|<0.6，|(Vd21-Vd22)...

本发明公开了一种宽视场高分辨率光学系统，其包括成像透镜阵列、像感器阵列、信号处理单元、及位于物面与像面一之间的投影物镜一与分割透镜阵列。这三个阵列中的每个单元为相互对应的一对一的映射关系。像面一被分割透镜阵列分割成分视场阵列，使物面通过...

本发明公开了一种宽视场高分辨率投影物镜，其从物侧到像侧依次包括第一、第二、第三镜组。在第一、第三镜组之间设置有光阑。在第二镜组中，至少含有两个空气透镜满足：|(r21-r22)/(r21+r22)|<0.6，|(Vd21-Vd22...

本发明公开一种宽谱线投影光学系统和光刻设备。宽谱线投影光学系统为在物方和像方皆接近远心光路的缩小的投影光学系统，其从物平面到像平面依次包括具有正光焦度的第一镜组、可变孔径光阑、第二镜组和具有正光焦度的第三镜组。第二镜组满足关系式：vd＝...