本技术公开了一种微型加热器，包括衬底，其具有刻蚀槽；支撑层，其包括设置在所述衬底的上表面的二氧化硅层及设置在二氧化硅层上表面的支撑上层；加热层，其具有沉积在支撑上层上表面的加热盘及引出的连接电极，所述加热盘具有图案化结构；保护层，其覆盖...

本申请提供了一种基于压电效应的塔状纤毛矢量水听器及水声系统，涉及微机械电子技术领域。该水听器包括塔状拾振纤毛、十字梁结构以及压电单元，十字梁结构包括连接体以及四根横梁，横梁固定于所述连接体的侧面形成十字梁结构；压电单元设于横梁的首尾两端...

本技术公开一种一体式的谐振式石英加速度计，包括外框架、内框架和梁‑质量结构件，内框架通过若干横向连接梁与外框架固定连接，内框架与外框架除横向连接梁处，其余均位置均通过隔离孔间隔设置，梁‑质量结构件通过竖向连接梁与内框架固定连接，竖向连接...

本申请公开了一种固态装配型体声波谐振器及其制备方法，其中，固态装配型体声波谐振器包括衬底、依次层叠于衬底上的布拉格反射结构、支撑层、第一电极层、压电层和第二电极层；其中，所述布拉格反射结构包括交替堆叠的高声阻抗层和低声阻抗层，所述布拉格...

本申请公开了一种横向激励体声波谐振器及其制备方法，横向激励体声波谐振器包括衬底以及依次层叠于衬底上的第一布拉格反射结构、压电层、叉指电极和第二布拉格反射结构，所述第一布拉格反射结构包括交替堆叠的第一高声阻抗层和第一低声阻抗层；所述第二布...

本发明公开一种多腔MEMS碱金属气室，包括基体，以及在基体内部挖设的光学腔、反应腔和微通道，光学腔通过微通道与反应腔连通，所述微通道包括至少一个折弯单元，各个折弯单元首尾依次连通连接在一起，折弯单元包括传输路径上至少存在一个改变方向区域...

本发明公开一种晶圆结构的刻蚀加工方法，所述晶圆结构包括晶圆片以及连接于晶圆片的第一端面上的金属电极，所述刻蚀加工方法，包括以下步骤：加工形成所述金属电极；在第一端面进行第一次黄光刻蚀，在第一黄光刻蚀过程中；分别采用Au刻蚀液、Ti刻蚀液...

本申请公开了一种体声波滤波器，其特征在于，包括多个串联谐振器和多个并联谐振器，串联谐振器和并联谐振器的谐振频率不同，串联谐振器或并联谐振器至少具有2个不同的谐振频率；其中，所述串联谐振器包括衬底、位于衬底上的布拉格反射层、第一电极层、压...

本申请提供了一种衬底加工方法、衬底、光刻方法以及半导体器件，涉及半导体器件制造技术领域。该衬底加工方法包括：采用离子束轰击衬底的表面，形成包括化学键断裂区域的待加工表面，化学键断裂区域包括化学键断裂形成的多个活跃位点，衬底的材质为亲水性...

本申请公开了一种固态装配型体声波谐振器及其制备方法，其中，固态装配型体声波谐振器包括衬底、依次层叠于衬底上的布拉格反射结构、第一电极层、压电层和第二电极层，布拉格反射结构包括非导电反射结构和导电反射结构，非导电反射结构和导电反射结构均包...

本发明公开一种声气信号检测一体集成式的传感器、系统及制造方法，传感器包括，激光器用于发射出激光束，透光组件位于激光器的光路径上，透光组件与激光器间隔设置，光栅位于透光组件背离激光器的一侧且位于透光组件上，声膜组件位于光栅远离透光组件的一...

本申请提供了一种光声光热传感器，涉及气体检测技术领域。该光声光热传感器的壳体中空形成检测腔，红外辐射模块和检测模块容置于检测腔内；壳体上设有至少一个与检测腔连通的气孔；红外辐射模块用于向检测腔内的气体发射红外线，红外线的波段与待检测气体...

本发明公开了一种微型加热器及其制备方法，包括具有刻蚀槽的衬底；覆盖整个衬底的复合支撑层；沉积在复合支撑层上表面的加热层；覆盖加热结构的保护层；覆盖加热层和保护层的钝化层；设置在钝化层内部的金属散热层；方法包括：在衬底上表面形成复合支撑层...

本发明公开一种一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，包括：选用石英片，对石英片依次进行酸洗、碱洗和DI水冲洗，得到处理后的石英片；进行镀膜，形成膜层；形成带有加速度计结构图案的金属硬掩模的石英片；放入第一种有机刻蚀溶液进行湿法刻蚀；对石...

本发明提供一种角速度敏感单元及角速度传感器，其中，包括：基部、第一直型感应臂、第二直型感应臂、第一连接臂、第二连接臂、一对第一直型驱动臂、一对第二直型驱动臂；在第一连接臂的相对主面均设置有第一连接臂槽部，第一连接臂槽部设置有第一连接臂槽...

本发明提供一种微机械压电超声换能器及其制备方法，该换能器包括：多个换能器单元，换能器单元包括由下至上层叠的衬底、种子层、底电极、压电层和顶电极，衬底的底部中心贯穿向上设置有空腔；底电极覆盖在种子层上方，压电层包括压电部和若干个引线支撑部...