一种制造气密密封的ＭＥＭＳ组件（１０）的方法，其包括步骤为：提供ＧａＡｓ衬底（１２），在所述衬底（１２）的表面上至少有一个用于ＭＥＭＡ器件（１０）的触点（１７、１８），和在衬底（１２）的表面上形成悬臂（１６），悬臂位于能在一个取向上与触...