一种自动微操作装置，其特征在于包括设置在基座上的多自由度机械手部分、微定位平台部分、自动变焦显微视觉部分、微电脑控制部分。多自由度机械手部分包括设置在基座上的带有关节传感器的五自由度机械手，微定位平台部分包括设置在基座上的宏动台，设置在...

一种自动微操作装置，其特征在于包括设置在基座上的多自由度机械手部分、微定位平台部分、自动变焦显微视觉部分、微电脑控制部分。本发明与已有技术相比，具有适应生物工程、微加工、微装配和医学工程等领域精细操作的需要，结合机械、电子、光学测量、智...

一种大行程、高精度的微动台，其特征在于包括宏运动部分、微运动部分、微电脑控制装置，宏运动部分包括直线导轨、由精密滚珠丝杠机构带动的宏动台、光栅测量器，微运动部分包括设置在宏动台上的微动驱动机构、由微动驱动机构带动的工件固装置、激光干涉测...

一种大行程、高精度的微动台，其特征在于包括宏运动部分、微运动部分、微电脑控制装置，宏运动部分包括直线导轨、由精密滚珠丝杠机构带动的宏动台、光栅测量器，微运动部分包括设置在宏动台上的微动驱动机构、由微动驱动机构带动的工件固装置、激光干涉测...