本技术涉及光纤分光器领域，公开了一种防止脱落的光纤分光器，包括盒体和前面板，所述盒体前端设置有三组连接口，连接口处插接端子连接头，所述端子连接头末端为光纤束，所述盒体内部加工有壁槽，所述壁槽内有防脱落结构。该防止脱落的光纤分光器通过设置...

本技术涉及半导体工艺腔真空检测仪技术领域，公开了一种具有预警机构的半导体工艺腔真空检测仪，包括真空检测仪表、检测探针，所述真空检测仪表的顶部固定有安装座，夹块与侧夹板之间固定有用于连接的安装螺栓，所述夹块中形成有弧形槽，弧形槽上固定有防...

本发明涉及智能传感器技术领域，具体公开了基于加速度传感器的扰振测试系统及其测试方法，包括：传感器部署模块、晶圆传输全流程模拟模块、控制平台扰振分析模块、扰振测试风险评估模块以及评估结果输出模块，通过将加速度传感器嵌入空白模拟晶圆内部，构...

本发明公开了一种半导体设备的温控方法、装置、设备及存储介质，涉及温控技术领域，包括：基于快速热处理炉在边缘红外观测环形区域的缝腔观测带亮度和晶圆的表面发射率，计算缝腔观测带亮度的等效辐射温度；求解出石英钟罩内缘的等效温度；基于等效辐射温...