一种三维轮廓取得装置，具有光源(43)，其发出具有较宽频谱的光线；包含扫描部(55)与成像部(41)的干涉仪(42)，扫描部(55)构成为可沿着与被测定面(12ａ)交叉的方向进行扫描，扫描部(55)将来自光源(43)的光线分离成测定光束...