一道科技有限公司专利技术

一道科技有限公司共有1项专利

  • 本发明提供一种晶片搬运系统(100、200),其包含:至少一个电源单元,其用于为所述晶片搬运系统(100、200)供电;至少一个定子墙(101、201),其包含多个相邻线圈;至少一个载体(102、202),其用于传送和搬运至少一个晶片;...
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