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叶瑾琳专利技术
叶瑾琳共有2项专利
反向导电纳米阵列及其制造方法技术
反向导电纳米阵列,可以包括:光电二极管结构,所述光电二极管结构具有基板、光吸收层和倍增层;以及光引导层,所述光引导层被沉积在所述光电二极管结构的顶表面上,并且经图案化以形成纹理化表面,所述纹理化表面用于在入射光进入所述光电二极管结构时改...
用于半导体制造过程中的扩散室及其扩散方法技术
本发明涉及用于半导体制造过程中的扩散室及其扩散方法。通过扩散控制装置,使扩散源由点变成了和半导体样品平行的面,相当于使扩散源到样品每个区的距离一样,并可控制浓度高低和扩散深度,以在半导体制造过程中控制扩散通量;使扩散浓度和深度的均匀性大...
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