本实用新型涉及离子注入机技术领域，具体为一种离子注入机检测装置，包括扫描盘，扫描盘的周围环设有若干均匀分布的控制装置，控制装置一端和扫描盘连接,控制装置上设置有法拉第杯，控制装置包括手柄、丝杆、外筒、弹簧、控制盒和固定座，丝杆的一端固定...

本实用新型公开了一种半导体收纳盒，包括主槽和盒盖，主槽底部固定安装有底板，主槽外侧通过螺母固定安装有侧板，侧板底部安装有支撑垫，主槽正表面右上侧镶嵌安装有显示屏，主槽与底板上端外侧固定安装有防护套，利用外壳、安装板、连接槽、半导体制冷片...

本实用新型公开了一种半导体设备的器材清洗装置，包括箱体、调节机构、置放机构和储水箱，箱体正面中部通过可折叠辊轴转动连接有箱门，箱体内壁中部安装有清洗槽，利用四组置放机构，可以安放多件晶圆同时进行清洗，工作效率高，通过压缩弹簧与上盖板可以...

本实用新型公开了一种用于半导体设备的散热器，包括框架和冷却机构，框架内部一侧的上部和下部边缘对应安装有两根散热铜管，两组散热铜管之间等距且竖直安装有六根散热片，两组输液管的另一端对应连接冷却机构的进液口和出液口，本实用新型，利用Y80M...

本实用新型公开了一种用于离子注入机的校对装置，包括机壳和2XZ‑1型真空泵，机壳顶部一侧对应冲压的两个凹槽内部对应安装有两组离子源系统，机壳内侧在两组离子源系统正下方安装有放电室，机壳内侧在引出缝的正下方水平安装有抑制电极，本实用新型，...

本实用新型公开了一种用于半导体设备的排气装置，包括装置主体、安装板、叶窗自动开关组件、除尘清理机构和排气扇，装置主体后方固定连接有安装板，安装板四个拐角均设置有螺栓，装置主体上方中部安装有叶窗自动开关组件，百叶窗前端下表面胶合连接有密封...