本发明公开的属于极紫外光刻技术领域，具体为一种极紫外光刻光源产生方法和装置，通过采用光阴极微波电子枪与超导直线加速器相结合，能够产生电荷量大、重复频率高、能量高且能散极低的高品质电子束，经两级调制与压缩后，电子束实现完全群聚，最终在放大...