本发明公开了一种光‑电原位协同抛光装置及金刚石抛光方法，旨在提升金刚石的抛光速率，该装置包括抛光头模块、抛光盘模块、电场模块、抛光液模块、驱动和控制模块，所述抛光头模块内置紫外光组件，其发射的紫外光可以穿透高透光性吸盘，抛光时对抛光接触...

本发明公开了一种啮合驱动的齿轮高质高效抛光装置及方法，该装置包括抛光模块、抛光位移模块、抛光基台、控制系统，其中，抛光模块的抛光头设计为与被抛光齿轮相啮合的齿形，抛光位移模块驱动被抛光齿轮精准到达抛光工位，抛光模块的气缸驱动抛光头移动，...

本发明公开了一种主从分区协同加压的抛光头及其在晶圆抛光中的应用，该抛光头包括连接模块、保持环柔性加压模块、主从分区协同加压模块，连接模块与主机主轴相连，其内部设有多路气道，可实现多路气体的稳定传输，保持环柔性加压模块通过气体驱动环形气囊...