本发明涉及一种真空等离子体发生器（１，１ａ，６０），用于处理真空室（１７）中的工件，包括：电源连接端（２），用于连接到电压供应网络；至少一个电源整流器（３），其连接到至少一个第一转换器（４，４ａ），用于产生至少一个中间电路电压；第一射频...

等离子体激发系统（１），用于为等离子体处理提供功率，包括至少一个可连接于市电电源（３）的ＤＣ电流源（２、２’、２”、２”’）；至少一个连接于ＤＣ电流源（２、２’、２”、２”’）的中频（ＭＦ）单元（４，８），用于在其输出端产生ＡＣ电压，其...

本发明设计用于在等离子工艺中检测电弧的一种方法和电弧检测装置（１），包括至少一个比较器（ＡＤＣ），为所述比较器提供ＡＣ发生器的输出信号或者与所述输出信号有关的内部信号作为评估信号，还为所述比较器提供参考值（Ｒ１到Ｒ４），其中，比较器（３...

在用于产生气体放电电压供电单元（１）的输出ＤＣ电压的方法中，其中在第一电压转换级（２）中，将第一ＤＣ电压转换为预定电压范围的第二ＤＣ电压，并且在第二电压转换级（３）中，从该第二ＤＣ电压产生输出ＤＣ电压，在第二电压转换级中使用受控的脉冲占...

一种供电控制单元（１）和用于控制由一个交流电源（２）向至少两个耗电器件，特别是等离子处理中的耗电器件提供电功率的方法，其中向该耗电器件提供的实际电功率供给被检测，并与一个给定的期望电功率供给进行比较，当存在差异时，通过提供和／或去除该交...