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学校法人龙谷大学专利技术
学校法人龙谷大学共有2项专利
氧化物膜及其制造方法技术
本发明的氧化物膜由银(Ag)及镍(Ni)所形成的氧化物膜构成(可以包含不可避免的杂质)。该氧化物膜由如图3中第一氧化物膜及第2氧化物膜的XRD(X光绕射)分析结果的曲线图所示,在XRD分析中不显示明确的绕射波峰,而为微结晶集合体、含微结...
氧化物膜及其制造方法、与靶及氧化物烧结体的制造方法技术
本发明之一的氧化物膜是包含选自由铌(Nb)及钽(Ta)所组成群中的1种过渡元素及铜(Cu)的氧化物的膜(可以包含不可避免的杂质)。另外,如图5的示出第1氧化物膜及第2氧化物膜的XRD(X射线衍射)分析结果的图所示,该氧化物膜是在XRD分...
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