本发明公开了一种金属有机气象化学沉积反应室，所述反应室包括：腔体，所述腔体包括顶板、底板和侧壁，所述顶板底板和侧壁围成基本封闭的腔室；上进气喷淋头，设置于所述反应室腔室内的上部与气源连通；下进气喷淋头，设置于所述反应室腔室内的下部与气源...

本发明公开了一种高温化学气相沉积设备及其加热系统，所述用于高温化学气相沉积设备的加热系统包括发热体，支撑在所述加热体下部的发热体支撑部件，与所述发热体支撑部件连接的陶瓷绝缘件，设置在所述陶瓷绝缘件上部的热辐射防护件，以及设置在所述陶瓷绝...