本公开内容涉及用于确定样品(1)的样品表面的表面粗糙度的方法(300)，该方法(300)包括：‑基于图像传感器对样品表面的光学三维测量获得若干测量数据，测量数据中的每一个指示样品表面的表面拓扑，其中，测量数据中的每一个与照射样品表面的光...