一种反射掩模坯料，其包含基板、形成在所述基板的一个主表面上并且反射曝光用光的多层反射膜、以及形成在所述多层反射膜上且包含钌(Ru)和铌(Nb)的保护膜，所述保护膜包括在厚度方向上与靠近所述多层反射膜的一侧和最远离所述多层反射膜的一侧两者...

本发明涉及含金属的膜形成用聚合物、含金属的膜形成用组成物、及图案形成方法。本发明的课题为提供具有优异的干蚀刻耐性，且兼具高程度填埋/平坦化特性的含金属的膜形成用聚合物、使用了该聚合物的含金属的膜形成用组成物、使用了该组成物的图案形成方法...

本发明为一种发热性电子部件用外罩，其由中空状结构体构成，该中空状结构体具有1个以上用以插入电子电路部件的开口部，该发热性电子部件用外罩的特征在于，在所述中空状结构体的内壁面具有1个以上的凸形状。由此，提供一种能够抑制电子部件的脱落的发热...

一种反射掩模坯料，其是在EUV光作为曝光用光的EUV光刻中使用的反射掩模的材料，所述反射掩模坯料包括：基板；形成在所述基板的一个主表面上、具有周期性层压结构、并且反射曝光用光的反射多层膜，在所述周期性层压结构中，对于曝光用光具有相对低折...

本发明提供一种聚有机硅氧烷，其特征在于，其为由下述式(1)所表示的聚有机硅氧烷。由此，本发明可提供一种即使在以往的环氧改性有机硅无法良好地相容的条件下也能够无问题地相容的聚有机硅氧烷。[化学式1]在式(1)中，R1相互独立地表示选自碳原...

多孔玻璃基材制造系统和用于制造玻璃基材的方法。多孔玻璃基材制造系统包括：原料供应设备和多孔玻璃基材制造设备。原料供应设备包括：原料箱，其中储存有处于液态的有机硅氧烷原料，并且剩余空间填充有非活性气体；液体供给泵，其用于从原料箱泵送有机硅...

[问题]本发明的目的在于提供一种处理性良好且可获得充分的接着强度的导热性硅酮接着剂组合物。另外，本发明的目的也在于提供一种强度或绝缘性优异的复合体。一种导热性硅酮接着剂组合物，含有下述(a)成分～(e)成分，(a)直链或分支状有机聚硅氧...

提供顺磁性石榴石型透明陶瓷，其为由下述式(1)表示的复合氧化物的烧结体，其中，作为烧结助剂，含有大于0质量％且0.1质量％以下的SiO<subgt;2</subgt;，平均烧结粒径为5μm以上，光程长25mm的波长1064n...

本发明涉及导电性高分子组成物、被覆物、及图案形成方法。课题是形成电子束抗蚀剂描绘用电荷耗散膜的导电性高分子组成物。解决手段是一种导电性高分子组成物，含有(A)具有式(1)的重复单元1种以上的聚苯胺系导电性高分子、及(B)含式(2‑1)或...

本发明涉及生物体组成物、生物体电极及生物体电极的制造方法。本发明提供为薄膜且高透明、生物体信号的感度高、生物体适合性优异、轻量、且能够以低成本制造、即使长时间被水弄湿、长期间贴于皮肤，生物体信号的感度仍不会大幅下降，无皮肤痒、红斑、起疹...

本发明涉及可得到晶体缺陷少、高品质且廉价的AlN、Al<subgt;x</subgt;Ga<subgt;1‑x</subgt;N(0<X<1)、GaN等第III族氮化物的外延和无垢的外延生长用种子基板...

[问题]为了应对特别是在EUV曝光中所要求的严苛的使用条件，而实现与贯通防护膜框架而设置的通气口贴靠的过滤器的高性能化。[解决方案]本发明的防护膜包括：防护膜框架；极薄的防护膜片，设置于所述防护膜框架的上端面；通气口，设置于所述防护膜框...

本发明的目的是提供一种用于减少属于切叶蚁亚科的蚁群中蚂蚁数量的防控制剂和防控方法。更具体地，提供了一种组合物，该组合物至少包含：至少一种包含在属于切叶蚁亚科的蚂蚁的警报信息素组合物中的警报信息素化合物；和至少一种具有19至50个碳原子的...

本发明提供一种具有全氟聚醚嵌段和(甲基)丙烯酰基的有机聚硅氧烷及其制造方法。所述有机聚硅氧烷具有全氟聚醚基、与非氟系有机化合物的亲和性优异、且具有能够与自由基聚合性基团反应的(甲基)丙烯酰基，并且容易控制有机甲硅烷氧基单元数、具有(甲基...

提供与毫米波、太赫兹波的振动方向无关地具有优异的电磁波屏蔽性能的高强度的电磁波屏蔽片。电磁波屏蔽片，其具有厚度为1mm以下、电阻率为0.005Ω·cm以下、纵向与横向的拉伸强度比为0.8～1.25的碳纳米管无纺布。电磁波屏蔽片，其为用树...

本发明为一种成膜装置，其特征在于，具备：将原料溶液雾化从而产生原料雾的雾化手段；运送所述原料雾的载气供给手段；将混合所述原料雾与所述载气而成的混合气体供给至基体表面的雾供给手段；载置所述基体的载台；加热所述基体的加热手段；及已直接或间接...

本发明提供一种热固性酰亚胺树脂组合物。其能够在高频时形成介电损耗角正切低、介电特性优异、且为高Tg、耐热性优异的固化物。所述热固性酰亚胺树脂组合物包含(A)改性酰亚胺化合物和(B)反应促进剂。其中，所述(A)改性酰亚胺化合物以下述式(1...

本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供在使用高能射线的光刻中，抗图案崩塌且极限分辨性优异，又感度、LWR亦经改善的抗蚀剂组成物；以及使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。本发明的解决手段为一种抗蚀剂组成物，包含：(A)含有...

本发明提供一种室温固化性(RTV)硅橡胶组合物等。其即使不添加以往常用的对环境的负担大的金属系缩合催化剂，快速固化性、粘合性也优异，同时具有良好的保存稳定性，并且能够赋予具有耐久性(在耐热、耐湿条件下)的固化物。本发明的室温固化性有机聚...

本发明是一种成膜装置，具备：雾化部，其使原料溶液雾化而产生雾；载气供给部，其供给载气，所述载气运送由所述雾化部产生的所述雾；以及成膜部，其对由所述载气运送的所述雾进行热处理而进行成膜，其特征在于，所述成膜部具备：成膜室；基板载置部，其设...