芯东方晶体科技苏州有限公司专利技术

芯东方晶体科技苏州有限公司共有1项专利

  • 本发明属于晶圆加工处理设备技术领域,特别提供了一种晶棒托盘挡条拧紧机,包括下架体、设备舱、挡条螺钉松紧机构和辊筒输送装置,挡条螺钉松紧机构包括第二直线电机、装配架、升降模块、连接架、水平架、传动机构、扳手组件和动力机构;还包括龙门框架、...
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