肖志凯专利技术

肖志凯共有2项专利

  • 本发明创造涉及一种适用于局部生长薄膜和涂层的装置及其应用。采用本装置,激光源将光束直接照射到基体表面待生长薄膜和/或涂层的区域上,将待生长薄膜和/或涂层的区域的表面加热到设定温度;控制装置控制气体喷出装置的气体出口与待生长薄膜和/或涂层...
  • 本实用新型创造涉及一种适用于局部生长薄膜和涂层的装置。采用本装置,激光源将光束直接照射到基体表面待生长薄膜和/或涂层的区域上,将待生长薄膜和/或涂层的区域的表面加热到设定温度;控制装置控制气体喷出装置的气体出口与待生长薄膜和/或涂层的区...
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