小松电子株式会社专利技术

小松电子株式会社共有1项专利

  • 本发明提供一种基板清洗装置,即使基板表面一部分或整体带静电,也可以容易地清洗附着于基板表面的各种杂质及尘埃等。本发明的基板清洗装置具有移动自如地支承基板的框架和相对该框架旋转自如地安装的辊刷,利用所述辊刷擦拭并清洗所述基板的表面,所述辊...
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