本发明的一种电化学腐蚀装置及其方法，属于高精密工业技术领域，包括：S1、设置电化学工作站主机、位移与夹持系统、协同场发生器以及间隙感知系统，其中，位移与夹持系统包括用于夹持工件的工件夹具、电解池以及驱动工件夹具沿Z轴运动的Z轴伺服马达，...