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无锡源康利科技有限公司专利技术
无锡源康利科技有限公司共有1项专利
埋栅结构石墨烯晶体管的制备工艺制造技术
本发明涉及埋栅结构石墨烯晶体管的制备工艺,以单晶硅为衬底,在上面高温氧化生成1微米厚的二氧化硅,氧化温度为1100℃,氧化时间为干氧30分钟,湿氧140分钟,干氧30分钟,气体流量为干氧1L/min,湿氧0.4L/min,在样品表面做一...
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