本发明公开了一种CIS探针卡量测设备校准处理方法，涉及设备校准领域，包括以下步骤：获取CIS参考样本的芯片基础信息和多维校验参考数据；根据多维校验参考数据调整数据采集终端，通过数据采集终端获取CIS待测样本的数据采集信息；根据历史数据采...

本发明提出用于探针卡的全自动针位检查系统，实现形貌采集模块，用于对探针卡的探针群进行三维形貌扫描，获取探针群的三维点云数据；针位分析模块，连接至所述形貌采集模块，包括机器学习模型，用于处理所述三维点云数据并生成针位偏差数据以及探针健康状...

本发明公开了一种半导体探针卡自动插针检测装置及方法，包括第一传送带，第一传送带上方中部连接有支撑框架，支撑框架上表面中部连接有第一气缸，所述第一气缸输出端贯穿支撑框架并与横板连接，横板下表面中部连接有插针检测器，靠近插针检测器一侧的第一...