结型电容式芯片结构属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种结型电容式芯片结构。本发明提供一种改进型的结型电容式芯片结构。本发明包括上极板（1）和下极板（2），上极板（1）与下极板（2）之间为腔体（5）,其特征在于下极板（2）为掺...

介质层嵌入型电容式压力敏感芯片属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种介质层嵌入型电容式压力敏感芯片。本发明提供一种测量效果更好的介质层嵌入型电容式压力敏感芯片。本发明包括第一极板（1）和第二极板（2）,其特征在于第一极板（1）...

嵌入型电容式敏感芯片属于微机电系统（

竖置极板电容式压力敏感芯片结构属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种电容式压力敏感芯片结构。本发明就是针对上述问题，提供一种竖置极板电容式压力敏感芯片结构。本发明包括竖置第一极板（1）和与第一极板（1）相对的竖置第二极板（2）...

悬浮式电容敏感芯片属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种悬浮式电容敏感芯片。本发明提供一种悬浮式电容敏感芯片。本发明包括上极板（1）和下极板（2）,上极板（1）与下极板（2）之间为腔体（3），其特征在于腔体（3）内具有气体（4...

一种电容式压力敏感芯片属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种电容式压力敏感芯片。本发明提供一种性能优良的电容式压力敏感芯片。本发明包括衬底,其特征在于衬底上设置有感压下极板,下极板上方设置有感压上极板，上极板与下极板之间设置有...

电容式压力敏感芯片属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种电容式压力敏感芯片。本发明提供一种性能优良的电容式压力敏感芯片。本发明包括基底,其特征在于基底上设置有感压下极板,下极板上方设置有感压上极板，上极板与下极板之间设置有腔体...

结型电容式芯片结构属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种结型电容式芯片结构。本实用新型提供一种改进型的结型电容式芯片结构。本实用新型包括上极板（1）和下极板（2），上极板（1）与下极板（2）之间为腔体（5）,其特征在于下极板（...

介质层嵌入型电容式压力敏感芯片属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种介质层嵌入型电容式压力敏感芯片。本实用新型提供一种测量效果更好的介质层嵌入型电容式压力敏感芯片。本实用新型包括第一极板（1）和第二极板（2）,其特征在于第一极...

嵌入型电容式敏感芯片属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种极板嵌入型电容式压力敏感芯片。本实用新型提供一种嵌入式电容敏感芯片结构。本实用新型包括第一极板（1）、第二极板（2）、腔体（3）和感压薄膜（4），其特征在于第一极板（1...

电容式压力敏感芯片属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种电容式压力敏感芯片。本发明提供一种性能优良的电容式压力敏感芯片。本发明包括基底,其特征在于基底上设置有感压下极板,下极板上方设置有感压上极板，上极板与下极板之间设置有腔体...

竖置极板电容式敏感芯片结构属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种电容式敏感芯片结构。本实用新型就是针对上述问题，提供一种竖置极板电容式敏感芯片结构。本实用新型包括竖置第一极板（1）和与第一极板（1）相对的竖置第二极板（2）,其...

悬浮式电容敏感芯片属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种悬浮式电容敏感芯片。本实用新型提供一种悬浮式电容敏感芯片。本实用新型包括上极板（1）和下极板（2）,上极板（1）与下极板（2）之间为腔体（3），其特征在于腔体（3）内具有...

一种电容式压力敏感芯片属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种电容式压力敏感芯片。本实用新型提供一种性能优良的电容式压力敏感芯片。本实用新型包括衬底,其特征在于衬底上设置有感压下极板,下极板上方设置有感压上极板，上极板与下极板之...