本申请提供了一种射频MEMS开关及其制备方法，涉及射频微机电系统开关技术领域。射频MEMS开关的衬底包括相对的第一表面和第二表面，帕尔贴制冷模块嵌入衬底内，帕尔贴制冷模块包括制冷端和散热端，相较于散热端，制冷端更靠近第一表面。驱动电极设...

本申请提供了一种单刀双掷开关及其制备方法，涉及微机电射频开关技术领域。单刀双掷开关包括堆叠设置的第一层结构、悬空电极和第二层结构。第一层结构包括第一衬底、第一驱动电极和第一触点，第一驱动电极和第一触点均设置于第一衬底的靠近第二层结构的一...