本实用新型提供了一种晶体生长设备中双向强化气体冷却装置，其可以确保热场内部温度变化的均匀性，且可以控制温度变化和热流量大小，可以确保高质量晶体的生长。其包括外炉壳，所述外炉壳内布置有坩埚、隔热笼、顶部加热器、四周加热器，所述坩埚、顶部加...

本实用新型提供了一种测量晶体高度的装置，其既能满足测量晶体高度要求，又能提高测量精度，延长长晶棒的使用寿命。其包括机架，其特征在于：所述机架上设置有直线运动电缸，所述直线运动电缸上设置有施压气缸，所述施压气缸的气缸座紧固于所述直线运动电...

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统，其利用电磁感应加热技术直接加热坩埚底部的发热体，从而实现热场内部的温度均匀性；同时由于硅熔化之后，其导电性能良好，在电磁波的作用下，产生流动，有利于定向凝固过程中的排除杂质，其结构简...

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉的顶部加热器及顶部保温板除尘装置，其结构小、重量轻，使用方便，适用于铸锭炉加热器及顶部保温板的日常清洁维护，除尘时无需打开炉盖，除尘省时省力、效率高。其包括炉体，所述炉体的上部空腔内设置有顶部保温板，所述...

本实用新型提供了一种分体式加热装置，其可对硅锭的不同区域进行功率分配，提高加热功率利用的有效率，减少了无功消耗。其包括炉体、坩埚、隔热笼、侧面加热器，所述坩埚、侧面加热器均位于所述隔热笼所形成的腔体内，所述侧面加热器分别位于所述坩埚的四...

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉的三段式热场，能有效地减少硅锭生长过程中因四周保温部分与顶部保温部分之间的相对运动造成碳粉尘落入液态硅中，其包括炉腔，炉腔内安装有顶部保温层、四周保温层、底部保温板，顶部保温层、四周保温层、底部保温板闭合...

本发明提供了多晶硅铸锭炉的三段式热场，能有效地减少硅锭生长过程中因四周保温部分与顶部保温部分之间的相对运动造成碳粉尘落入液态硅中，其包括炉腔，炉腔内安装有顶部保温层、四周保温层、底部保温板，顶部保温层、四周保温层、底部保温板闭合状态下形...