本技术涉及故障数据采集设备技术领域，公开了一种设备故障采集装置，包括保护壳，保护壳前侧固定安装有前面板，前面板内固定安装有多个接口，且接口通过连接线与保护壳内采集主控板电性连接，前面板内还固定安装有多个指示灯，且指示灯也通过连接线与保护...

本技术公开了一种数据采集的多接口传感器，属于数据采集传感器领域，传感器封装壳体的上端开设有安装腔体，安装腔体的侧壁开设弧形通槽处安装有第一弧形壳、第二弧形壳，第一弧形壳、第二弧形壳通过对接部实现连接；第一弧形壳的端面开孔中安装有接口封盖...

本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种半导体附属设备的信息采集监控系统及方法。一种半导体附属设备的信息采集监控系统，包括：数据采集端，包括多台目标设备的内置传感器和输入端口，所述内置传感器用于采集目标设备的状态参数，所述输入端口用于采...