本发明公开一种基板传送系统，所述基板传送系统能够精密调节基板的移动方向和位置，从而可以在为传送晶圆等基板而通过基板传送机器人将基板收纳到搬运容器或从搬运容器取出的过程中防止基板表面损伤。

本发明涉及一种可测量晶圆传送用机械臂和晶圆的水平状态的晶圆示教夹具，其包括：晶圆盒，具有多个插槽使多个晶圆按照预设的间隔以堆叠方式层叠，在所述插槽的两侧中的至少一侧形成有开口部，通过所述开口部允许装载或者卸载所述晶圆；机械臂，用于将所述...

本实用新型涉及一种磁能作用器，包括筒型本体，本体两端设有封盖，封盖上分别装有输入孔的输入接头和输出孔的输出接头，本体两端设有定位板，本体内设有若干个定位片，定位片成平行排列，其中两个定位片之间设有定位管，出口端设有滤网，筒内还装有远红外...