本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种基于动态交联硅橡胶的晶圆探针清洁材料及其低温成型工艺。所述清洁材料包括由乙烯基硅油与含氢硅油经硅氢加成反应形成的动态交联硅橡胶弹性基体，其玻璃化转变温度不高于‑60℃，以及经硅烷偶联剂表面疏水改...

本发明涉及半导体探针清洁砂纸技术领域，尤其涉及一种用于半导体探针清洁的梯度弹性体砂纸及其制备方法。其技术方案包括底座、砂纸本体、支撑板、安装框和放置盒，所述底座上方设置有支撑板，所述支撑板内部转动安装有支撑管，所述支撑管上端设置有放置盒...