本发明涉及半导体气体输送领域，尤其涉及一种特气柜气体泄漏监测方法及系统，检测系统包括外置模块以及内置模块，外置模块内包含激光器发光模块，光分配模块，多路信号处理模块，报警模块；内置模块包含无泵扩散式检测气室，光入射装置，光接收装置，入射...

本发明涉及光腔衰荡领域，尤其涉及一种光腔衰荡光谱检测系统及方法，系统包括检测单元、气路系统、恒温控制单元以及控制与处理单元。气路系统可以在检测系统非测量时段向衰荡腔内充入惰性保护气体并维持微正压状态，有效阻止外部污染物与水汽侵入，降低了...